MEMS​

MEMS, ti o duro fun Awọn ọna ṣiṣe MicroElectroMechanical jẹ awọn micromachines asekale chirún kekere ti o ni awọn paati laarin 1 si 100 micrometers ni iwọn (mikromita kan jẹ miliọnu kan ti mita kan) ati awọn ẹrọ MEMS ni gbogbogbo ni iwọn lati 20 micrometers_cc781905-5cde-3194-bb3b-158d_f (20 milionu ti mita kan) si milimita kan. Pupọ julọ awọn ẹrọ MEMS jẹ diẹ ninu awọn microns diẹ kọja. Wọn nigbagbogbo ni ẹyọ aarin ti o ṣe ilana data, microprocessor ati awọn paati pupọ ti o nlo pẹlu ita bii microsensors. Ni iru awọn iwọn iwọn kekere bẹ, awọn ofin ti fisiksi kilasika ko wulo nigbagbogbo. Nitori MEMS 'nla dada agbegbe to iwọn didun ratio, dada ipa bi electrostatics ati wetting jẹ gaba lori iwọn didun ipa bi inertia tabi gbona ibi-. Nitorinaa, apẹrẹ MEMS ati idagbasoke nilo iriri kan pato ni aaye bii sọfitiwia kan pato ti o gba awọn ofin fisiksi ti kii ṣe kilasika sinu akọọlẹ.

​

MEMS di iwulo ni pataki ni awọn ewadun diẹ sẹhin lẹhin ti wọn le ṣe iṣelọpọ nipa lilo awọn imọ-ẹrọ iṣelọpọ ohun elo semikondokito, eyiti a lo deede lati ṣe ẹrọ itanna. Iwọnyi pẹlu mimu ati fifin, etching tutu (KOH, TMAH) ati etching gbigbẹ (RIE ati DRIE), ẹrọ mimu ina mọnamọna (EDM), ifisilẹ fiimu tinrin ati awọn imọ-ẹrọ miiran ti o lagbara lati ṣe awọn ẹrọ kekere pupọ.

​

Ti o ba ni imọran MEMS tuntun ṣugbọn ti o ko ni awọn irinṣẹ apẹrẹ amọja ati/tabi oye ti o tọ, a le ṣe iranlọwọ fun ọ. Lẹhin apẹrẹ, idagbasoke ati iṣelọpọ a le ṣe agbekalẹ ohun elo idanwo adani ati sọfitiwia fun ọja MEMS rẹ. A n ṣiṣẹ pẹlu nọmba ti awọn ipilẹ ti iṣeto ti o ni amọja ni iṣelọpọ MEMS. Mejeeji 150mm ati 200mm wafers ti wa ni ilọsiwaju labẹ ISO/TS 16949 ati ISO 14001 ti a forukọsilẹ ati awọn agbegbe ibamu RoHS. A ni o lagbara lati ṣe iwadii eti eti, apẹrẹ, idagbasoke, idanwo, afijẹẹri, iṣapẹrẹ bi iṣelọpọ iṣowo iwọn didun giga. Diẹ ninu awọn ẹrọ MEMS olokiki ti awọn onimọ-ẹrọ wa ni iriri ninu pẹlu:

​

• Awọn accelerometers

• Gyroscopes/ Gyros

• Magnetometers

• Awọn gbohungbohun

• Resonators

• Opitika MEMS(gẹgẹ bi awọn pirojekito oni nọmba, gbogbo okun opiki yipada)

• Awọn oṣere MEMSati Awọn sensọ (gẹgẹbi sensọ išipopada, sensọ titẹ)

• RF Yipada & Varactors

• Agbara Harvesters

• Micro-Bolometers

 

Awọn sensọ MEMS kekere ati awọn oṣere ti mu iṣẹ ṣiṣe tuntun ṣiṣẹ ni awọn foonu smati, awọn tabulẹti, awọn ọkọ ayọkẹlẹ, awọn pirojekito… ati bẹbẹ lọ. ati pe o ṣe pataki si Intanẹẹti ti Awọn nkan (IoT). Ni apa keji, MEMS ṣafihan awọn italaya imọ-ẹrọ amọja, pẹlu awọn ilana iṣelọpọ ti kii ṣe boṣewa, awọn ibaraenisepo-fisiksi pupọ, iṣọpọ pẹlu awọn ICs, ati awọn ibeere iṣakojọpọ hermetic aṣa. Laisi iru ẹrọ apẹrẹ kan pato MEMS, o ma gba ọpọlọpọ ọdun lati mu ọja MEMS kan wa si ọja. A lo awọn irinṣẹ to ti ni ilọsiwaju ti n ṣe apẹrẹ ati idagbasoke MEMS. Apẹrẹ Tanner MEMS jẹ ki a ṣe apẹrẹ 3D MEMS ati atilẹyin iṣelọpọ ni agbegbe iṣọkan kan, ati pe o jẹ ki o rọrun lati ṣepọ awọn ẹrọ MEMS pẹlu analog / alapọpọ-ifihan agbara processing Circuit lori IC kanna. O ṣe alekun iṣelọpọ ti awọn ẹrọ MEMS nipasẹ ẹrọ, gbona, akositiki, itanna, elekitirotiki, oofa ati awọn itupalẹ ito. Awọn irinṣẹ sọfitiwia miiran lati ọdọ Coventor fun wa ni awọn iru ẹrọ ti o lagbara fun apẹrẹ MEMS, simulation, ijẹrisi ati awoṣe ilana. Syeed Coventor n ṣapejuwe awọn italaya imọ-ẹrọ kan pato ti MEMS gẹgẹbi awọn ibaraenisepo-fisiksi pupọ, awọn iyatọ ilana, iṣọpọ MEMS+IC, ibaraenisepo idii MEMS. Awọn onimọ-ẹrọ MEMS wa ni anfani lati ṣe awoṣe ati ṣe adaṣe ihuwasi ẹrọ ati awọn ibaraenisepo ṣaaju ṣiṣe si iṣelọpọ gangan, ati ni awọn wakati tabi awọn ọjọ, wọn le ṣe awoṣe tabi ṣe afiwe awọn ipa ti yoo ti gba awọn oṣu deede ti ile ati idanwo ni fab. Diẹ ninu awọn irinṣẹ ilọsiwaju ti awọn apẹẹrẹ MEMS wa ni atẹle.

 

Fun awọn iṣeṣiro:

• Tanner MEMS Design Sisan lati Mentor

• MEMS+, CoventorWare, SEMulator3D lati Coventor

• IntelliSense

• Comsol MEMS Module

• ÌDÁHÙN

 

Fun awọn iboju iparada:

• AutoCAD

• Vectorworks

• Olootu Ifilelẹ

 

Fun awoṣe:

• Solidworks

 

Fun awọn iṣiro, iṣiro, itupalẹ nọmba:

• Matlab

• MathCAD

• Iṣiro

 

Atẹle ni atokọ kukuru ti apẹrẹ MEMS & iṣẹ idagbasoke ti a ṣe:

• Ṣẹda awoṣe MEMS 3D lati ifilelẹ

• Ṣiṣayẹwo ofin apẹrẹ fun iṣelọpọ MEMS

• Simulation ipele eto ti awọn ẹrọ MEMS ati apẹrẹ IC

• Layer pipe & iworan geometry apẹrẹ

• Iran ipilẹ aifọwọyi pẹlu awọn sẹẹli paramita

• Iran ti awọn awoṣe ihuwasi ti awọn ẹrọ MEMS rẹ

• Ifilelẹ iboju-boju to ti ni ilọsiwaju ati ṣiṣan ijẹrisi

• Gbejade awọn faili DXF   

​

MICROFLUIDICS

Apẹrẹ ẹrọ microfluidics wa ati awọn iṣẹ idagbasoke ni ifọkansi si iṣelọpọ ti awọn ẹrọ ati awọn eto ninu eyiti awọn iwọn kekere ti awọn olomi ti wa ni mu. A ni agbara lati ṣe apẹrẹ awọn ohun elo microfluidic fun ọ ati funni ni aṣa-afọwọṣe & iṣelọpọ micromanufacturing ti o baamu fun awọn ohun elo rẹ. Awọn apẹẹrẹ ti awọn ohun elo microfluidic jẹ awọn ohun elo micro-propulsion, awọn ọna ṣiṣe lab-on-a-chip, awọn ẹrọ itanna gbona, awọn itẹwe inkjet ati diẹ sii. Ni awọn microfluidics a ni lati ṣe pẹlu iṣakoso kongẹ ati ifọwọyi ti awọn omi ti o ni ihamọ si awọn agbegbe iha-milimita. Awọn olomi ti wa ni gbigbe, dapọ, pinya ati ṣiṣe. Ninu awọn ọna ṣiṣe microfluidic awọn omi ti wa ni gbigbe ati iṣakoso boya ni itara ni lilo awọn micropumps kekere ati awọn microvalves ati iru bẹ tabi ni ilodi si ni anfani awọn ipa agbara. Pẹlu awọn ọna ẹrọ lab-on-a-chip, awọn ilana eyiti a ṣe deede ni lab jẹ iwọn kekere lori chirún kan lati jẹki ṣiṣe ati arinbo bi daradara bi idinku ayẹwo ati awọn iwọn reagent.

Diẹ ninu awọn ohun elo pataki ti awọn ẹrọ microfluidic ati awọn ọna ṣiṣe jẹ:

​

- Laboratories lori kan ni ërún

- Oògùn waworan

- Awọn idanwo glukosi

- Kemikali microreactor

- Microprocessor itutu

- Micro idana ẹyin

- Amuaradagba crystallization

- Awọn oogun iyara yipada, ifọwọyi ti awọn sẹẹli ẹyọkan

- Awọn ẹkọ sẹẹli ẹyọkan

- Tunable optofluidic microlens orun

- Microhydraulic & awọn eto micropneumatic (awọn ifasoke olomi,

gaasi falifu, dapọ awọn ọna šiše…)

- Biochip tete Ikilọ awọn ọna šiše

- Iwari ti kemikali eya

- Bioanalytical ohun elo

- On-chip DNA ati amuaradagba onínọmbà

- Nozzle sokiri awọn ẹrọ

- Awọn sẹẹli ṣiṣan quartz fun wiwa awọn kokoro arun

- Meji tabi ọpọ droplet iran awọn eerun

​

AGS-Engineering tun nfunni ni imọran, apẹrẹ ati idagbasoke ọja ni gaseous ati awọn ọna omi ati awọn ọja, ni awọn iwọn kekere. A gba awọn irinṣẹ Iṣiro Fluid Dynamics (CFD) to ti ni ilọsiwaju gẹgẹbi idanwo yàrá lati loye ati wo ihuwasi sisan ti o nipọn. Awọn onimọ-ẹrọ microfluidics wa ti lo awọn irinṣẹ CFD ati maikirosikopu lati ṣe apejuwe awọn iyalẹnu gbigbe omi microscale ni awọn media la kọja. A tun ni ifowosowopo sunmọ pẹlu awọn ipilẹ si iwadi, apẹrẹ. Dagbasoke ati pese awọn paati microfluidic & bioMEMS. A le ṣe iranlọwọ fun ọ lati ṣe apẹrẹ & ṣe awọn eerun microfluidic tirẹ. Ẹgbẹ apẹrẹ chirún ti o ni iriri wa le ṣe iranlọwọ fun ọ nipasẹ apẹrẹ, adaṣe ati iṣelọpọ ti ọpọlọpọ kekere ati awọn iwọn iwọn didun ti awọn eerun microfluidic fun ohun elo rẹ pato. Bibẹrẹ pẹlu awọn ẹrọ lori awọn pilasitik ni a ṣe iṣeduro fun awọn idanwo iyara bi o ṣe gba akoko diẹ ati idiyele fun iṣelọpọ akawe si awọn ẹrọ lori PDMS. A le ṣe awọn ilana Microfluidic lori awọn pilasitik bii PMMA, COC. A le ṣe fọtolithography atẹle nipa lithography rirọ lati ṣẹda awọn ilana microfluidic lori PDMS. A gbe awọn oluwa irin, a wa nipasẹ awọn ilana milling lori Brass ati Aluminiomu. Ṣiṣẹda ẹrọ lori PDMS ati ṣiṣe awọn ilana lori awọn pilasitik ati awọn irin le pari laarin awọn ọsẹ diẹ. A le pese awọn asopọ fun awọn ilana ti a ṣe lori awọn pilasitik lori ibeere gẹgẹbi awọn asopọ ibudo ti o ni ibamu fun iwọn ibudo 1mm pẹlu ibamu lati so awọn tubes capillary 360 micron PEEK. Okunrin mini luer pẹlu irin pin apejọ le wa ni ipese lati so tygon tube ti 0.5 mm laarin awọn ebute oko omi ati syringe fifa. Awọn ifiṣura ipamọ omi ti agbara 100 μl. tun le pese. Ti o ba ti ni apẹrẹ tẹlẹ, o le fi silẹ ni awọn ọna kika Autocad, .dwg tabi .dxf.

​

​