MEMS​

Ang MEMS, na kumakatawan sa MicroElectroMechanical Systems ay mga maliliit na chip scale micromachines na binubuo ng mga bahagi sa pagitan ng 1 hanggang 100 micrometers ang laki (isang micrometer ay one millionth ng isang metro) at ang MEMS device ay karaniwang may sukat mula 20 micrometers_cc781905-5cde-3194-bb3b-136bad_cf58d (20 milyon ng isang metro) hanggang isang milimetro. Karamihan sa mga device ng MEMS ay ilang daang micron sa kabuuan. Karaniwang binubuo ang mga ito ng isang sentral na yunit na nagpoproseso ng data, ang microprocessor at ilang bahagi na nakikipag-ugnayan sa labas tulad ng mga microsensor. Sa gayong maliliit na sukat, ang mga tuntunin ng klasikal na pisika ay hindi palaging kapaki-pakinabang. Dahil sa malaking surface area sa ratio ng volume ng MEMS, ang mga surface effect gaya ng electrostatics at wetting ay nangingibabaw sa volume effect gaya ng inertia o thermal mass. Samakatuwid, ang disenyo at pag-unlad ng MEMS ay nangangailangan ng partikular na karanasan sa larangan pati na rin ang partikular na software na isinasaalang-alang ang mga hindi klasikal na panuntunang ito sa pisika.

​

Naging praktikal ang MEMS lalo na noong huling ilang dekada matapos ang mga ito ay gawa-gawa gamit ang mga nabagong teknolohiya sa paggawa ng semiconductor device, na karaniwang ginagamit sa paggawa ng electronics. Kabilang dito ang paghuhulma at pag-plating, wet etching (KOH, TMAH) at dry etching (RIE at DRIE), electric discharge machining (EDM), thin film deposition at iba pang mga teknolohiyang may kakayahang gumawa ng napakaliit na device.

​

Kung mayroon kang bagong konsepto ng MEMS ngunit hindi nagtataglay ng mga espesyal na tool sa disenyo at/o tamang kadalubhasaan, matutulungan ka namin. Pagkatapos ng disenyo, pag-develop at paggawa, maaari kaming bumuo ng customized na pagsubok na hardware at software para sa iyong produkto ng MEMS. Nakikipagtulungan kami sa ilang itinatag na foundry na dalubhasa sa paggawa ng MEMS. Parehong 150mm at 200mm na wafer ay pinoproseso sa ilalim ng ISO/TS 16949 at ISO 14001 na nakarehistro at RoHS compliant na kapaligiran. Kami ay may kakayahang magsagawa ng nangungunang pananaliksik, disenyo, pagbuo, pagsubok, kwalipikasyon, prototyping pati na rin ang mataas na dami ng komersyal na produksyon. Ang ilang sikat na MEMS device na may karanasan sa aming mga engineer ay kinabibilangan ng:

​

• Accelerometers

• Mga Gyroscope/ Gyros

• Mga magnetometer

• Mga mikropono

• Mga Resonator

• Optical MEMS(tulad ng mga digital projector, lahat ng optical fiber optic switch)

• Mga Aktuador ng MEMSat Mga Sensor (tulad ng motion sensor, pressure sensor)

• Mga RF Switch at Varactors

• Mga Taga-ani ng Enerhiya

• Mga Micro-Bolometer

 

Na-enable ng maliliit na MEMS sensor at actuator ang bagong functionality sa mga smart phone, tablet, kotse, projector...atbp. at kritikal sa Internet of Things (IoT). Sa kabilang banda, ang MEMS ay nagpapakita ng mga espesyal na hamon sa engineering, kabilang ang mga hindi karaniwang proseso ng fabrication, multi-physics na pakikipag-ugnayan, pagsasama sa mga IC, at custom na hermetic na mga kinakailangan sa packaging. Kung walang isang platform ng disenyo na partikular sa MEMS, madalas na tumatagal ng maraming taon upang dalhin ang isang produkto ng MEMS sa merkado. Gumagamit kami ng mga advanced na tool sa pagdidisenyo at pagbuo ng MEMS. Binibigyang-daan kami ng Tanner MEMS Design ng 3D MEMS na disenyo at suporta sa fabrication sa isang pinag-isang kapaligiran, at ginagawang madali ang pagsasama ng mga MEMS device na may analog/mixed-signal processing circuitry sa parehong IC. Pinahuhusay nito ang paggawa ng mga aparatong MEMS sa pamamagitan ng mekanikal, thermal, acoustic, electrical, electrostatic, magnetic at fluid analysis. Ang iba pang software tool mula sa Coventor ay nag-aalok sa amin ng makapangyarihang mga platform para sa MEMS na disenyo, simulation, pag-verify at pagmomodelo ng proseso. Tinutugunan ng platform ng Coventor ang mga hamon sa engineering na partikular sa MEMS gaya ng mga multi-physics na pakikipag-ugnayan, mga variation ng proseso, pagsasama ng MEMS+IC, pakikipag-ugnayan ng MEMS+package. Nagagawa ng aming mga inhinyero ng MEMS na imodelo at gayahin ang gawi at mga pakikipag-ugnayan ng device bago gumawa sa aktwal na paggawa, at sa mga oras o araw, maaari silang magmodelo o mag-simulate ng mga epekto na karaniwang tumagal ng ilang buwan ng pagbuo at pagsubok sa fab. Ang ilan sa mga advanced na tool na ginagamit ng aming mga taga-disenyo ng MEMS ay ang mga sumusunod.

 

Para sa mga simulation:

• Daloy ng Disenyo ng Tanner MEMS mula sa Mentor

• MEMS+, CoventorWare, SEMulator3D mula sa Coventor

• IntelliSense

• Comsol MEMS Module

• ANSYS

 

Para sa pagguhit ng mga maskara:

• AutoCAD

• Vectorworks

• Layout Editor

 

Para sa pagmomodelo:

• Solidworks

 

Para sa mga kalkulasyon, analytical, numerical analysis:

• Matlab

• MathCAD

• Mathematica

 

Ang sumusunod ay isang maikling listahan ng gawaing disenyo at pagpapaunlad ng MEMS na ginagawa namin:

• Gumawa ng MEMS 3D na modelo mula sa layout

• Pagsusuri ng panuntunan sa disenyo para sa paggawa ng MEMS

• System-level simulation ng MEMS device at IC design

• Kumpletuhin ang visualization ng geometry ng layer at disenyo

• Awtomatikong pagbuo ng layout na may mga parameterized na cell

• Pagbuo ng mga modelo ng pag-uugali ng iyong mga MEMS device

• Advanced na layout ng mask at daloy ng pag-verify

• Pag-export ng mga DXF file   

​

MICROFLUIDICS

Ang aming mga microfluidics device na disenyo at pagpapatakbo ng pagpapaunlad ay naglalayong gumawa ng mga device at system kung saan ang maliliit na volume ng mga likido ay pinangangasiwaan. May kakayahan kaming magdisenyo ng mga microfluidic device para sa iyo at mag-alok ng prototyping at micromanufacturing na custom na iniayon para sa iyong mga application. Ang mga halimbawa ng microfluidic device ay micro-propulsion device, lab-on-a-chip system, micro-thermal device, inkjet printhead at higit pa. Sa microfluidics kailangan nating harapin ang tumpak na kontrol at pagmamanipula ng mga likido na napipilitan sa mga sub-milimeter na rehiyon. Ang mga likido ay inililipat, pinaghalo, pinaghihiwalay at pinoproseso. Sa mga microfluidic system, ang mga likido ay inililipat at kinokontrol alinman sa aktibong paggamit ng maliliit na micropump at microvalves at mga katulad nito o passive na sinasamantala ang mga puwersa ng capillary. Sa mga lab-on-a-chip system, ang mga prosesong karaniwang isinasagawa sa isang lab ay pinaliit sa isang chip upang mapahusay ang kahusayan at kadaliang kumilos pati na rin bawasan ang dami ng sample at reagent.

Ang ilang mga pangunahing aplikasyon ng microfluidic device at system ay:

​

- Mga laboratoryo sa isang maliit na tilad

- Pagsusuri sa droga

- Mga pagsusuri sa glucose

- Kemikal na microreactor

- Paglamig ng microprocessor

- Mga micro fuel cell

- Pagkikristal ng protina

- Mabilis na pagbabago ng mga gamot, pagmamanipula ng mga solong selula

- Pag-aaral ng solong cell

- Mahimig na optofluidic microlens array

- Microhydraulic at micropneumatic system (mga likidong bomba,

mga balbula ng gas, mga sistema ng paghahalo...atbp)

- Biochip maagang babala sistema

- Pagtuklas ng mga kemikal na species

- Bioanalytical application

- On-chip DNA at pagtatasa ng protina

- Nozzle spray device

- Mga cell ng daloy ng kuwarts para sa pagtuklas ng bakterya

- Dalawahan o maramihang droplet generation chips

​

Nag-aalok din ang AGS-Engineering ng pagkonsulta, disenyo at pagbuo ng produkto sa mga sistema at produkto ng gas at likido, sa maliliit na kaliskis. Gumagamit kami ng mga advanced na tool sa Computational Fluid Dynamics (CFD) pati na rin ang pagsubok sa laboratoryo upang maunawaan at mailarawan ang kumplikadong gawi ng daloy. Ang aming mga inhinyero ng microfluidics ay gumamit ng mga CFD tool at microscopy upang ilarawan ang microscale liquid transport phenomena sa porous media. Mayroon din kaming malapit na pakikipagtulungan sa mga foundry sa pananaliksik, disenyo. Bumuo at magbigay ng mga bahagi ng microfluidic at bioMEMS. Matutulungan ka naming magdisenyo at gumawa ng sarili mong microfluidic chips. Matutulungan ka ng aming nakaranasang koponan sa pagdidisenyo ng chip sa pamamagitan ng disenyo, prototyping at paggawa ng maliliit na lote at dami ng mga microfluidic chip para sa iyong partikular na aplikasyon. Ang pagsisimula sa mga device sa plastic ay inirerekomenda para sa mabilis na pagsubok dahil mas kaunting oras at gastos ang kailangan para sa paggawa kumpara sa mga device sa PDMS. Maaari tayong gumawa ng mga pattern ng Microfluidic sa mga plastik tulad ng PMMA, COC. Maaari kaming gumawa ng photolithography na sinusundan ng malambot na lithography upang lumikha ng mga microfluidic pattern sa PDMS. Gumagawa kami ng mga master ng metal, kami ay sa pamamagitan ng mga pattern ng paggiling sa Brass at Aluminum. Ang paggawa ng device sa PDMS at paggawa ng mga pattern sa mga plastik at metal ay maaaring makumpleto sa loob ng ilang linggo. Maaari kaming magbigay ng mga connector para sa mga pattern na gawa sa mga plastik kapag hiniling tulad ng mga port connector na tugma para sa 1mm na laki ng port kasama ang fitting para ikonekta ang 360 micron PEEK na mga capillary tube. Ang male mini luer na may metal pin assembly ay maaaring ibigay upang ikonekta ang tygon tube na 0.5 mm ang inner diameter sa pagitan ng mga fluid port at syringe pump. Mga reservoir ng imbakan ng likido na may kapasidad na 100 μl. maaari ding ibigay. Kung mayroon ka nang disenyo, maaari kang magsumite sa Autocad, .dwg o .dxf na mga format.

​

​