МЕМС_д04а07д8-9цд1-3239-9149-20813д6ц673б_

МЕМС, што значи МицроЕлецтроМецханицал Системс, су мале микромашине са чиповима састављене од компоненти величине између 1 и 100 микрометара (микрометар је милионити део метра), а МЕМС уређаји се обично крећу у величини од 20 микрометара_цц781905-5цде-3194-бб3б_цф8д (20 милионитих делова метра) до милиметра. Већина МЕМС уређаја је неколико стотина микрона у пречнику. Обично се састоје од централне јединице која обрађује податке, микропроцесора и неколико компоненти које су у интеракцији са спољашњошћу, као што су микросензори. У тако малим размерама, правила класичне физике нису увек корисна. Због великог односа површине површине према запремини МЕМС-а, површински ефекти као што су електростатика и влажење доминирају ефектима запремине као што су инерција или топлотна маса. Стога, дизајн и развој МЕМС-а захтевају специфично искуство у овој области, као и специфичан софтвер који узима у обзир ова некласична правила физике.

_д04а07д8-9цд1-3239-9149-20813д6ц673б_

МЕМС је постао практичан посебно током последњих неколико деценија након што су могли да се произведу коришћењем модификованих технологија за производњу полупроводничких уређаја, које су се обично користиле за прављење електронике. То укључује обликовање и облагање, мокро гравирање (КОХ, ТМАХ) и суво гравирање (РИЕ и ДРИЕ), машинску обраду са електричним пражњењем (ЕДМ), таложење танког филма и друге технологије способне за производњу веома малих уређаја.

_д04а07д8-9цд1-3239-9149-20813д6ц673б_

Ако имате нови МЕМС концепт, али не поседујете специјализоване алате за дизајн и/или одговарајућу стручност, можемо вам помоћи. Након дизајна, развоја и производње можемо развити прилагођени тест хардвер и софтвер за ваш МЕМС производ. Радимо са великим бројем етаблираних ливница специјализованих за производњу МЕМС-а. Области од 150 мм и 200 мм се обрађују у складу са ИСО/ТС 16949 и ИСО 14001 регистрованим и РоХС усаглашеним окружењима. Способни смо да извршимо врхунска истраживања, дизајн, развој, тестирање, квалификацију, израду прототипа као и комерцијалну производњу великог обима. Неки популарни МЕМС уређаји у којима наши инжењери имају искуства укључују:

_д04а07д8-9цд1-3239-9149-20813д6ц673б_

• Акцелерометри

• Жироскопи/ Гирос

• Магнетометри

• Микрофони

• Резонатори

• Оптицал МЕМС(као што су дигитални пројектори, сви прекидачи са оптичким влакнима)

• МЕМС актуатории сензори (као што су сензор покрета, сензор притиска)

• РФ прекидачи и варактори

• Енерги Харвестерс

• Микро-болометри

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

Сићушни МЕМС сензори и актуатори омогућили су нову функционалност у паметним телефонима, таблетима, аутомобилима, пројекторима… итд. и критични су за Интернет ствари (ИоТ). С друге стране, МЕМС представља специјализоване инжењерске изазове, укључујући нестандардне процесе производње, мултифизичке интеракције, интеграцију са ИЦ-има и прилагођене захтеве за херметичко паковање. Без платформе за дизајн специфичне за МЕМС, често је потребно много година да се МЕМС производ изнесе на тржиште. Користимо напредне алате за пројектовање и развој МЕМС-а. Таннер МЕМС Десигн нам омогућава 3Д МЕМС дизајн и подршку за производњу у једном уједињеном окружењу и олакшава интеграцију МЕМС уређаја са аналогним/мешовитим колом за обраду сигнала на истом ИЦ-у. Побољшава производност МЕМС уређаја путем механичких, термичких, акустичких, електричних, електростатичких, магнетних и флуидних анализа. Остали софтверски алати из Цовентор-а нуде нам моћне платформе за МЕМС дизајн, симулацију, верификацију и моделирање процеса. Цовентор-ова платформа се бави инжењерским изазовима специфичним за МЕМС, као што су мултифизичке интеракције, варијације процеса, МЕМС+ИЦ интеграција, МЕМС+ интеракција пакета. Наши МЕМС инжењери су у стању да моделирају и симулирају понашање уређаја и интеракције пре него што се посвете стварној производњи, а за неколико сати или дана могу да моделирају или симулирају ефекте за које би обично били потребни месеци изградње и тестирања у фабрици. Неки од напредних алата које наши МЕМС дизајнери користе су следећи.

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

За симулације:

• Таннер МЕМС Десигн Флов од Ментора

• МЕМС+, ЦовенторВаре, СЕМулатор3Д из Цовентор-а

• ИнтеллиСенсе

• Цомсол МЕМС модул

• АНСИС

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

За цртање маски:

• АутоЦАД

• Вецторворкс

• Лаиоут Едитор

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

За моделирање:

• Солидворкс

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

За прорачуне, аналитичку, нумеричку анализу:

• Матлаб

• МатхЦАД

• Матхематица

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

Следи кратка листа радова на пројектовању и развоју МЕМС-а које обављамо:

• Креирајте МЕМС 3Д модел из изгледа

• Провера правила дизајна за МЕМС производност

• Системска симулација МЕМС уређаја и дизајн ИЦ

• Комплетна визуелизација слојева и геометрије дизајна

• Аутоматско генерисање распореда са параметризованим ћелијама

• Генерисање модела понашања ваших МЕМС уређаја

• Напредни изглед маске и ток верификације

• Извоз ДКСФ датотека _цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д__цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

_д04а07д8-9цд1-3239-9149-20813д6ц673б_

МИКРОФЛУИДИКА

Наше операције дизајна и развоја микрофлуидичних уређаја имају за циљ производњу уређаја и система у којима се рукује малим количинама течности. Имамо могућност да дизајнирамо микрофлуидне уређаје за вас и понудимо израду прототипа и микропроизводњу прилагођену вашим апликацијама. Примери микрофлуидних уређаја су уређаји са микро погоном, системи лабораторија на чипу, микротермални уређаји, главе за инкјет штампање и још много тога. У микрофлуидици морамо да се бавимо прецизном контролом и манипулацијом флуида ограниченим на субмилиметарске регионе. Течности се померају, мешају, одвајају и обрађују. У микрофлуидним системима течности се померају и контролишу или активно користећи мале микропумпе и микровентиле и слично или пасивно користећи предности капиларних сила. Са системима лаб-он-а-цхип, процеси који се обично спроводе у лабораторији су минијатуризовани на једном чипу како би се побољшала ефикасност и мобилност, као и смањиле количине узорака и реагенса.

Неке од главних примена микрофлуидних уређаја и система су:

_д04а07д8-9цд1-3239-9149-20813д6ц673б_

- Лабораторије на чипу

- Скрининг на дроге

- Тестови за глукозу

- Хемијски микрореактор

- Хлађење микропроцесора

- Микро горивне ћелије

- Кристализација протеина

- Брза промена лекова, манипулација појединачним ћелијама

- Студије једне ћелије

- Подесиви оптофлуидни низови микросочива

- Микрохидраулични и микропнеуматски системи (пумпе за течност,

гасни вентили, системи за мешање… итд.)

- Биочип системи раног упозорења

- Детекција хемијских врста

- Биоаналитичке апликације

- Анализа ДНК и протеина на чипу

- Уређаји за прскање млазница

- Кварцне проточне ћелије за детекцију бактерија

- Двоструки или вишеструки чипови за генерисање капљица

_д04а07д8-9цд1-3239-9149-20813д6ц673б_

АГС-Инжењеринг такође нуди консалтинг, дизајн и развој производа у гасовитим и течним системима и производима, у малим размерама. Користимо напредне алате за рачунарску динамику флуида (ЦФД) као и лабораторијско тестирање да бисмо разумели и визуелизовали сложено понашање протока. Наши инжењери микрофлуидике су користили ЦФД алате и микроскопију да окарактеришу феномен транспорта течности на микро нивоу у порозним медијима. Такође имамо блиску сарадњу са ливницама на истраживању, пројектовању. Развити и испоручити микрофлуидне и биоМЕМС компоненте. Можемо вам помоћи да дизајнирате и израдите сопствене микрофлуидне чипове. Наш искусни тим за пројектовање чипова може вам помоћи у дизајну, изради прототипа и производњи малих серија и запреминских количина микрофлуидних чипова за вашу специфичну примену. За брза испитивања препоручује се почетак са уређајима на пластици јер је потребно мање времена и трошкова за производњу у поређењу са уређајима на ПДМС. Можемо да направимо микрофлуидне шаре на пластици као што су ПММА, ЦОЦ. Можемо да урадимо фотолитографију праћену меком литографијом да бисмо створили микрофлуидне обрасце на ПДМС-у. Производимо металне мајсторе, ми смо глодањем шара на месингу и алуминијуму. Израда уређаја на ПДМС-у и прављење шаблона на пластици и металима може бити завршено у року од неколико недеља. На захтев можемо да обезбедимо конекторе за шаблоне израђене од пластике, као што су конектори за портове компатибилни за величину порта од 1 мм заједно са фитингом за повезивање ПЕЕК капиларних цеви од 360 микрона. Мушки мини луер са склопом металне игле се може испоручити за повезивање тигонске цеви унутрашњег пречника 0,5 мм између отвора за течност и пумпе за шприц. Резервоари за складиштење течности капацитета 100 μл. такође се може обезбедити. Ако већ имате дизајн, можете га послати у Аутоцад, .двг или .дкф форматима.

_д04а07д8-9цд1-3239-9149-20813д6ц673б_

_д04а07д8-9цд1-3239-9149-20813д6ц673б_