MEMS​

MEMS, MicroElectroMechanical Systems යනු මයික්‍රොමීටර 1 සිට 100 දක්වා ප්‍රමාණයෙන් (මයික්‍රොමීටරයක් මීටරයකින් මිලියනයෙන් එකකි) සංරචක වලින් සෑදී ඇති කුඩා චිප් පරිමාණ ක්ෂුද්‍ර යන්ත්‍ර වන අතර MEMS උපාංග සාමාන්‍යයෙන් micrometers_cc781905-5cde-31905-5cde-3194-bb38bdc_1945bdc_135db3dbc_1945bdc35dbdc_1945dbdc_1945bdc_1945-Bdc3184500000 සිට ප්‍රමාණයෙන් යුක්ත වේ. (මීටරයකින් මිලියන 20) සිට මි.මී. බොහෝ MEMS උපාංග මයික්‍රෝන සිය ගණනකින් සමන්විත වේ. ඒවා සාමාන්‍යයෙන් දත්ත සකසන මධ්‍යම ඒකකයකින්, මයික්‍රොප්‍රොසෙසරය සහ මයික්‍රොසෙන්සර් වැනි පිටතින් අන්තර් ක්‍රියා කරන සංරචක කිහිපයකින් සමන්විත වේ. එවැනි කුඩා ප්රමාණයේ පරිමාණයන්හිදී, සම්භාව්ය භෞතික විද්යාවේ නීති සෑම විටම ප්රයෝජනවත් නොවේ. MEMS හි විශාල පෘෂ්ඨ ප්‍රදේශය සහ පරිමා අනුපාතය හේතුවෙන්, විද්‍යුත් ස්ථිතික සහ තෙත් කිරීම වැනි මතුපිට බලපෑම් අවස්ථිති හෝ තාප ස්කන්ධය වැනි පරිමා බලපෑම් ආධිපත්‍යය දරයි. එබැවින්, MEMS සැලසුම් කිරීම සහ සංවර්ධනය කිරීම සඳහා ක්ෂේත්‍රයේ නිශ්චිත අත්දැකීම් මෙන්ම මෙම සම්භාව්‍ය නොවන භෞතික විද්‍යා රීති සැලකිල්ලට ගන්නා විශේෂිත මෘදුකාංග අවශ්‍ය වේ.

​

සාමාන්‍යයෙන් ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සෑදීමට භාවිතා කරන නවීකරණය කරන ලද අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදන තාක්ෂණයන් භාවිතයෙන් ඒවා නිපදවා ගත හැකි වූ පසු විශේෂයෙන්ම පසුගිය දශක කිහිපය තුළ MEMS ප්‍රායෝගික විය. මේවාට වාත්තු කිරීම සහ ප්ලේටින් කිරීම, තෙත් කැටයම් කිරීම (KOH, TMAH) සහ වියළි කැටයම් (RIE සහ DRIE), විදුලි විසර්ජන යන්ත්‍ර (EDM), තුනී පටල තැන්පත් කිරීම සහ ඉතා කුඩා උපාංග නිෂ්පාදනය කළ හැකි වෙනත් තාක්ෂණයන් ඇතුළත් වේ.

​

ඔබට නව MEMS සංකල්පයක් ඇති නමුත් විශේෂිත නිර්මාණ මෙවලම් සහ/හෝ නිවැරදි විශේෂඥතාවක් නොමැති නම්, අපට ඔබට උදවු කළ හැක. සැලසුම් කිරීම, සංවර්ධනය කිරීම සහ සැකසීමෙන් පසු අපට ඔබේ MEMS නිෂ්පාදනය සඳහා අභිරුචි කළ පරීක්ෂණ දෘඩාංග සහ මෘදුකාංග සංවර්ධනය කළ හැකිය. අපි MEMS නිෂ්පාදනය සඳහා විශේෂිත වූ ස්ථාපිත අත්තිවාරම් ගණනාවක් සමඟ වැඩ කරන්නෙමු. 150mm සහ 200mm වේෆර් දෙකම ISO/TS 16949 සහ ISO 14001 ලියාපදිංචි සහ RoHS අනුකූල පරිසරයන් යටතේ සකසනු ලැබේ. ප්‍රමුඛ පෙළේ පර්යේෂණ, සැලසුම්, සංවර්ධනය, පරීක්ෂණ, සුදුසුකම්, මූලාකෘතිකරණය මෙන්ම ඉහළ පරිමාවකින් යුත් වාණිජ නිෂ්පාදනයක් සිදු කිරීමට අපට හැකියාව ඇත. අපගේ ඉංජිනේරුවන්ට අත්දැකීම් ඇති සමහර ජනප්‍රිය MEMS උපාංගවලට ඇතුළත් වන්නේ:

​

• ත්වරණමාන

• Gyroscopes/ ගයිරෝස්

• චුම්බකමාන

• මයික්රොෆෝන

• අනුනාදක

• ඔප්ටිකල් MEMS(ඩිජිටල් ප්‍රොජෙක්ටර්, සියලුම ඔප්ටිකල් ෆයිබර් ඔප්ටික් ස්විචය වැනි)

• MEMS Actuatorsසහ සංවේදක (චලන සංවේදකය, පීඩන සංවේදකය වැනි)

• RF ස්විච සහ වර්ක්ටර්

• බලශක්ති අස්වනු නෙළන්නන්

• ක්ෂුද්ර-බෝලෝමීටර

 

කුඩා MEMS සංවේදක සහ ක්‍රියාකාරක මගින් ස්මාර්ට් ජංගම දුරකථන, ටැබ්ලට්, කාර්, ප්‍රොජෙක්ටර්... යනාදී නව ක්‍රියාකාරීත්වය සක්‍රීය කර ඇත. සහ අන්තර්ජාලයේ දේවල් (IoT) සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. අනෙක් අතට, MEMS විසින් සම්මත නොවන නිමැවුම් ක්‍රියාවලි, බහු-භෞතික අන්තර්ක්‍රියා, IC සමඟ ඒකාබද්ධ කිරීම සහ අභිරුචි හර්මෙටික් ඇසුරුම් අවශ්‍යතා ඇතුළුව විශේෂිත ඉංජිනේරු අභියෝග ඉදිරිපත් කරයි. MEMS-විශේෂිත සැලසුම් වේදිකාවක් නොමැතිව, MEMS නිෂ්පාදනයක් වෙළඳපොළට ගෙන ඒමට බොහෝ විට වසර ගණනාවක් ගත වේ. අපි MEMS සැලසුම් කිරීම සහ සංවර්ධනය කිරීම සඳහා උසස් මෙවලම් භාවිතා කරමු. ටැනර් MEMS නිර්මාණය අපට එක් ඒකාබද්ධ පරිසරයක් තුළ ත්‍රිමාණ MEMS නිර්මාණය සහ පිරිසැකසුම් සහාය සක්‍රීය කරයි, සහ MEMS උපාංග එකම IC මත ඇනලොග්/මිශ්‍ර-සංඥා සැකසුම් පරිපථ සමඟ ඒකාබද්ධ කිරීම පහසු කරයි. එය යාන්ත්‍රික, තාප, ධ්වනි, විද්‍යුත්, විද්‍යුත් ස්ථිතික, චුම්බක සහ ද්‍රව විශ්ලේෂණයන් හරහා MEMS උපාංග නිෂ්පාදනය කිරීමේ හැකියාව වැඩි දියුණු කරයි. Coventor වෙතින් වන අනෙකුත් මෘදුකාංග මෙවලම් අපට MEMS නිර්මාණය, අනුකරණය, සත්‍යාපනය සහ ක්‍රියාවලි ආකෘති නිර්මාණය සඳහා ප්‍රබල වේදිකා පිරිනමයි. Coventor ගේ වේදිකාව බහු-භෞතික අන්තර්ක්‍රියා, ක්‍රියාවලි වෙනස්කම්, MEMS+IC ඒකාබද්ධ කිරීම, MEMS+ පැකේජ අන්තර්ක්‍රියා වැනි MEMS-විශේෂිත ඉංජිනේරු අභියෝග ආමන්ත්‍රණය කරයි. අපගේ MEMS ඉංජිනේරුවන්ට සත්‍ය ප්‍රබන්ධ කිරීමට පෙර උපාංග හැසිරීම් සහ අන්තර්ක්‍රියා ආදර්ශන කිරීමට සහ අනුකරණය කිරීමට හැකි වන අතර, පැය හෝ දින තුළ, ඔවුන්ට සාමාන්‍යයෙන් ෆැබ් තුළ ගොඩනැගීමට සහ පරීක්ෂා කිරීමට මාස ගණනක් ගත වූ බලපෑම් ආදර්ශන කිරීමට හෝ අනුකරණය කිරීමට හැකිය. අපගේ MEMS නිර්මාණකරුවන් භාවිතා කරන සමහර උසස් මෙවලම් පහත දැක්වේ.

 

සමාකරණ සඳහා:

• උපදේශක වෙතින් ටැනර් MEMS නිර්මාණ ප්‍රවාහය

• MEMS+, CoventorWare, SEMulator3D Coventor වෙතින්

• IntelliSense

• Comsol MEMS මොඩියුලය

• ANSYS

 

වෙස් මුහුණු ඇඳීම සඳහා:

• AutoCAD

• දෛශික වැඩ

• පිරිසැලසුම් සංස්කාරකය

 

ආකෘති නිර්මාණය සඳහා:

• නියම වැඩ

 

ගණනය කිරීම් සඳහා, විශ්ලේෂණාත්මක, සංඛ්යාත්මක විශ්ලේෂණය:

• Matlab

• MathCAD

• ගණිතය

 

පහත දැක්වෙන්නේ අප විසින් සිදු කරනු ලබන MEMS සැලසුම් සහ සංවර්ධන කටයුතු පිළිබඳ කෙටි ලැයිස්තුවකි:

• පිරිසැලසුමෙන් MEMS 3D ආකෘතියක් සාදන්න

• MEMS නිෂ්පාදන හැකියාව සඳහා සැලසුම් රීති පරීක්ෂා කිරීම

• MEMS උපාංගවල පද්ධති මට්ටමේ අනුකරණය සහ IC නිර්මාණය

• සම්පූර්ණ ස්ථරය සහ සැලසුම් ජ්‍යාමිතික දෘශ්‍යකරණය

• පරාමිතික සෛල සමඟ ස්වයංක්‍රීය පිරිසැලසුම් උත්පාදනය

• ඔබගේ MEMS උපාංගවල හැසිරීම් ආකෘති උත්පාදනය

• උසස් මාස්ක් පිරිසැලසුම සහ සත්‍යාපන ප්‍රවාහය

• DXF ගොනු අපනයනය   

​

මයික්රොෆ්ලුයිඩික්ස්

අපගේ ක්ෂුද්‍ර තරල උපාංග සැලසුම් සහ සංවර්ධන මෙහෙයුම් ඉලක්ක කර ඇත්තේ කුඩා තරල පරිමා හසුරුවන උපාංග සහ පද්ධති සැකසීමයි. ඔබ වෙනුවෙන් ක්ෂුද්‍ර තරල උපාංග සැලසුම් කිරීමට සහ ඔබේ යෙදුම් සඳහා අනුරූපී මූලාකෘතිකරණය සහ ක්ෂුද්‍ර නිෂ්පාදන අභිරුචි ලබා දීමට අපට හැකියාව ඇත. ක්ෂුද්‍ර තරල උපාංග සඳහා උදාහරණ වන්නේ ක්ෂුද්‍ර ප්‍රචාලන උපාංග, lab-on-a-chip පද්ධති, ක්ෂුද්‍ර තාප උපාංග, inkjet මුද්‍රණ ශීර්ෂ සහ තවත් දේ වේ. ක්ෂුද්‍ර තරල විද්‍යාවේදී අපට උප-මිලිමීටර කලාපවලට සීමා වූ තරලවල නිරවද්‍ය පාලනය සහ හැසිරවීම සමඟ කටයුතු කිරීමට සිදුවේ. ද්රව චලනය, මිශ්ර, වෙන් කිරීම සහ සකස් කිරීම. ක්ෂුද්‍ර තරල පද්ධති වලදී කුඩා ක්ෂුද්‍ර පොම්ප සහ ක්ෂුද්‍ර කපාට සහ ඒ හා සමාන හෝ අක්‍රියව කේශනාලිකා බලයෙන් ප්‍රයෝජන ගනිමින් සක්‍රීයව තරල චලනය කර පාලනය කරනු ලැබේ. lab-on-a-chip පද්ධති සමඟින්, සාමාන්‍යයෙන් රසායනාගාරයක් තුළ සිදු කෙරෙන ක්‍රියාවලීන් කාර්යක්ෂමතාව සහ සංචලනය වැඩි දියුණු කිරීම මෙන්ම නියැදි සහ ප්‍රතික්‍රියාකාරක පරිමාවන් අඩු කිරීම සඳහා තනි චිපයක් මත කුඩා කර ඇත.

ක්ෂුද්‍ර තරල උපාංග සහ පද්ධතිවල සමහර ප්‍රධාන යෙදුම් වන්නේ:

​

- චිපයක් මත රසායනාගාර

- ඖෂධ පරීක්ෂාව

- ග්ලූකෝස් පරීක්ෂණ

- රසායනික ක්ෂුද්ර ප්රතික්රියාකාරකය

- මයික්රොප්රොසෙසර සිසිලනය

- ක්ෂුද්ර ඉන්ධන සෛල

- ප්රෝටීන් ස්ඵටිකීකරණය

- වේගවත් ඖෂධ වෙනස් කිරීම, තනි සෛල හැසිරවීම

- තනි සෛල අධ්යයන

- සුසර කළ හැකි optofluidic microlens අරා

- ක්ෂුද්‍ර හයිඩ්‍රොලික් සහ ක්ෂුද්‍ර වායුමය පද්ධති (දියර පොම්ප,

ගෑස් කපාට, මිශ්ර කිරීමේ පද්ධති... ආදිය)

- Biochip පූර්ව අනතුරු ඇඟවීමේ පද්ධති

- රසායනික විශේෂ හඳුනා ගැනීම

- ජෛව විශ්ලේෂණ යෙදුම්

- On-chip DNA සහ ප්‍රෝටීන් විශ්ලේෂණය

- තුණ්ඩ ඉසින උපාංග

- බැක්ටීරියා හඳුනාගැනීම සඳහා ක්වාර්ට්ස් ප්රවාහ සෛල

- ද්විත්ව හෝ බහු ජල බිඳිති පරම්පරාවේ චිප්ස්

​

AGS-Engineering කුඩා පරිමාණයෙන් වායුමය සහ ද්‍රව පද්ධති සහ නිෂ්පාදනවල උපදේශන, සැලසුම් සහ නිෂ්පාදන සංවර්ධනය ද පිරිනමයි. අපි සංකීර්ණ ප්‍රවාහ හැසිරීම් අවබෝධ කර ගැනීමට සහ දෘශ්‍යමාන කිරීමට උසස් පරිගණක ද්‍රව ගතික (CFD) මෙවලම් මෙන්ම රසායනාගාර පරීක්ෂණ භාවිතා කරමු. අපගේ ක්ෂුද්‍ර තරල ඉංජිනේරුවන් සිදුරු සහිත මාධ්‍යවල ක්ෂුද්‍ර පරිමාණ ද්‍රව ප්‍රවාහන සංසිද්ධි සංලක්ෂිත කිරීමට CFD මෙවලම් සහ අන්වීක්ෂය භාවිතා කර ඇත. පර්යේෂණ, සැලසුම් කිරීම සඳහා වාත්තු ශාලා සමඟ අපට සමීප සහයෝගීතාවයක් ද ඇත. ක්ෂුද්‍ර තරල සහ ජෛව MEMS සංරචක සංවර්ධනය කිරීම සහ සැපයීම. ඔබේම ක්ෂුද්‍ර තරල චිප්ස් නිර්මාණය කිරීමට සහ නිෂ්පාදනය කිරීමට අපට ඔබට උදවු කළ හැක. අපගේ පළපුරුදු චිප් නිර්මාණ කණ්ඩායමට ඔබේ නිශ්චිත යෙදුම සඳහා කුඩා කැබලි අක්ෂර සහ පරිමාවේ ප්‍රමාණයේ ක්ෂුද්‍ර තරල චිප් සැලසුම් කිරීම, මූලාකෘති කිරීම සහ සැකසීම හරහා ඔබට උපකාර කළ හැකිය. PDMS මත ඇති උපාංග හා සසඳන විට නිපදවීම සඳහා අඩු කාලයක් සහ පිරිවැයක් ගත වන බැවින් ප්ලාස්ටික් මත උපාංග සමඟ ආරම්භ කිරීම ඉක්මන් අත්හදා බැලීම් සඳහා නිර්දේශ කෙරේ. අපට PMMA, COC වැනි ප්ලාස්ටික් මත ක්ෂුද්‍ර තරල රටා නිර්මාණය කළ හැකිය. PDMS මත ක්ෂුද්‍ර තරල රටා නිර්මාණය කිරීම සඳහා අපට ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි සිදු කළ හැකිය. අපි ලෝහ මාස්ටර් නිෂ්පාදනය කරන්නෙමු, අපි පිත්තල සහ ඇලුමිනියම් රටා ඇඹරීමෙන්. PDMS මත උපාංග සැකසීම සහ ප්ලාස්ටික් සහ ලෝහ මත රටා සෑදීම සති කිහිපයක් ඇතුළත අවසන් කළ හැක. මයික්‍රෝන 360 PEEK කේශනාලිකා ටියුබ් සම්බන්ධ කිරීම සඳහා සවි කිරීම සහ මිලිමීටර් 1 පෝට් ප්‍රමාණයට ගැළපෙන වරාය සම්බන්ධක වැනි ඉල්ලීම මත ප්ලාස්ටික් මත සාදන ලද රටා සඳහා සම්බන්ධක ලබා දිය හැකිය. ද්‍රව වරායන් සහ සිරින්ජ පොම්පය අතර මිලිමීටර් 0.5 අභ්‍යන්තර විෂ්කම්භයකින් යුත් ටයිගොන් නළය සම්බන්ධ කිරීම සඳහා ලෝහ පින් එකලස් කිරීම සහිත පිරිමි කුඩා ලුයර් සැපයිය හැකිය. ධාරිතාව 100 μl ද්රව ගබඩා ජලාශ. ද ලබා දිය හැකිය. ඔබට දැනටමත් නිර්මාණයක් තිබේ නම්, ඔබට Autocad, .dwg හෝ .dxf ආකෘතිවලින් ඉදිරිපත් කළ හැක.

​

​