MEMS​

MEMS, wieqfa għal MicroElectroMechanical Systems huma mikromagni ċkejkna fuq skala taċ-ċippa magħmulin minn komponenti ta 'daqs bejn 1 sa 100 mikrometru (mikrometru huwa miljun wieħed ta' metru) u l-apparati MEMS ġeneralment ivarjaw fid-daqs minn 20 mikrometru_cc781905-5cde-3194-bb3b-58d_bad (20 miljuni ta' metru) għal millimetru. Il-biċċa l-kbira tal-apparati MEMS huma ta 'ftit mijiet ta' mikroni. Ġeneralment jikkonsistu f'unità ċentrali li tipproċessa d-data, il-mikroproċessur u diversi komponenti li jinteraġixxu ma 'barra bħal mikrosensuri. Fi skali daqshekk żgħar, ir-regoli tal-fiżika klassika mhux dejjem huma utli. Minħabba l-proporzjon kbir tal-erja tal-wiċċ għall-volum tal-MEMS, l-effetti tal-wiċċ bħall-elettrostatika u t-tixrib jiddominaw l-effetti tal-volum bħall-inerzja jew il-massa termali. Għalhekk, id-disinn u l-iżvilupp tal-MEMS jeħtieġ esperjenza speċifika fil-qasam kif ukoll softwer speċifiku li jqis dawn ir-regoli tal-fiżika mhux klassiċi.

​

Il-MEMS saru prattiċi speċjalment matul l-aħħar deċennji wara li setgħu jiġu fabbrikati bl-użu ta 'teknoloġiji ta' fabbrikazzjoni ta 'apparat semikonduttur modifikati, li normalment kienu jintużaw biex jagħmlu l-elettronika. Dawn jinkludu l-iffurmar u l-kisi, l-inċiżjoni mxarrba (KOH, TMAH) u l-inċiżjoni niexfa (RIE u DRIE), makkinar ta 'discharge elettrika (EDM), depożizzjoni ta' film irqiq u teknoloġiji oħra kapaċi jimmanifatturaw apparati żgħar ħafna.

​

Jekk għandek kunċett MEMS ġdid iżda m'għandekx l-għodod speċjalizzati tad-disinn u/jew il-kompetenza t-tajba, nistgħu ngħinuk. Wara d-disinn, l-iżvilupp u l-fabbrikazzjoni nistgħu niżviluppaw ħardwer u softwer tat-test personalizzati għall-prodott MEMS tiegħek. Aħna naħdmu ma 'numru ta' funderiji stabbiliti speċjalizzati fil-fabbrikazzjoni MEMS. Iż-żewġ wejfers ta '150mm u 200mm huma pproċessati taħt ISO/TS 16949 u ISO 14001 reġistrati u ambjenti konformi RoHS. Aħna kapaċi nwettqu riċerka avvanzata, disinn, żvilupp, ittestjar, kwalifika, prototipi kif ukoll produzzjoni kummerċjali ta 'volum għoli. Xi apparati MEMS popolari li l-inġiniera tagħna għandhom esperjenza fihom jinkludu:

​

• Aċċellerometri

• Ġiroskopji/ Gyros

• Manjetometri

• Mikrofoni

• Reżonaturi

• MEMS ottiċi(bħal proġekters diġitali, swiċċ kollu tal-fibra ottika ottika)

• Attwaturi MEMSu Sensers (bħal sensorju tal-moviment, sensor tal-pressjoni)

• Swiċċijiet RF & Varactors

• Ħsad tal-Enerġija

• Mikro-Bolometri

 

Sensuri u attwaturi MEMS ċkejkna ppermettew funzjonalità ġdida fi smart phones, tablets, karozzi, projetturi... eċċ. u huma kritiċi għall-Internet tal-Oġġetti (IoT). Min-naħa l-oħra, MEMS jippreżenta sfidi ta 'inġinerija speċjalizzati, inklużi proċessi ta' fabbrikazzjoni mhux standard, interazzjonijiet multi-fiżiċi, integrazzjoni ma 'ICs, u rekwiżiti ta' ippakkjar ermetiku tad-dwana. Mingħajr pjattaforma tad-disinn speċifika għall-MEMS, ħafna drabi tieħu ħafna snin biex iġġib prodott MEMS fis-suq. Aħna nużaw għodod avvanzati li jiddisinjaw u jiżviluppaw MEMS. Tanner MEMS Design jippermettilna disinn 3D MEMS u appoġġ għall-fabbrikazzjoni f'ambjent unifikat wieħed, u jagħmilha faċli biex nintegraw apparati MEMS b'ċirkwiti ta 'proċessar ta' sinjal analogu / imħallat fuq l-istess IC. Ittejjeb il-manifattura ta 'apparati MEMS permezz ta' analiżi mekkaniċi, termali, akustiċi, elettriċi, elettrostatiċi, manjetiċi u fluwidi. Għodod oħra tas-softwer minn Coventor joffrulna pjattaformi qawwija għad-disinn, is-simulazzjoni, il-verifika u l-immudellar tal-proċessi tal-MEMS. Il-pjattaforma ta 'Coventor tindirizza sfidi ta' inġinerija speċifiċi għall-MEMS bħal interazzjonijiet multi-fiżiċi, varjazzjonijiet tal-proċess, integrazzjoni MEMS + IC, interazzjoni MEMS + pakkett. L-inġiniera tal-MEMS tagħna huma kapaċi jimmudellaw u jissimulaw l-imġiba u l-interazzjonijiet tal-apparat qabel ma jimpenjaw ruħhom għall-fabbrikazzjoni attwali, u f'sigħat jew jiem, jistgħu jimmudellaw jew jissimulaw effetti li normalment kienu jieħdu xhur ta 'bini u ttestjar fil-fab. Uħud mill-għodod avvanzati li jużaw id-disinjaturi tal-MEMS tagħna huma dawn li ġejjin.

 

Għal simulazzjonijiet:

• Tanner MEMS Design Flow minn Mentor

• MEMS+, CoventorWare, SEMulator3D minn Coventor

• IntelliSense

• Modulu Comsol MEMS

• ANSYS

 

Għat-tpinġija tal-maskri:

• AutoCAD

• Vectorworks

• Editur tal-Layout

 

Għall-immudellar:

• Solidworks

 

Għal kalkoli, analiżi analitika, numerika:

• Matlab

• MathCAD

• Matematika

 

Din li ġejja hija lista qasira tax-xogħol tad-disinn u l-iżvilupp tal-MEMS li nwettqu:

• Oħloq mudell MEMS 3D mit-tqassim

• Iċċekkjar tar-regola tad-disinn għall-manifattura tal-MEMS

• Simulazzjoni fil-livell tas-sistema ta 'apparati MEMS u disinn IC

• Tlesti saff u viżwalizzazzjoni tal-ġeometrija tad-disinn

• Ġenerazzjoni awtomatika ta 'tqassim b'ċelloli parametrizzati

• Ġenerazzjoni ta' mudelli ta' mġiba tat-tagħmir MEMS tiegħek

• Tqassim avvanzat tal-maskra u fluss ta 'verifika

• Esportazzjoni ta' fajls DXF   

​

MIKROFLUIDIKA

L-operazzjonijiet tad-disinn u l-iżvilupp tal-apparat mikrofluwidiku tagħna huma mmirati lejn il-fabbrikazzjoni ta 'apparati u sistemi li fihom jiġu mmaniġġjati volumi żgħar ta' fluwidi. Għandna l-kapaċità li niddisinjaw apparat mikrofluwidi għalik u noffru prototipi u mikromanifattura apposta apposta għall-applikazzjonijiet tiegħek. Eżempji ta 'apparati mikrofluwidi huma apparati ta' mikro-propulsjoni, sistemi lab-on-a-chip, tagħmir mikro-termali, printheads tal-inkjet u aktar. Fil-mikrofluwidika għandna nittrattaw il-kontroll preċiż u l-manipulazzjoni ta 'fluwidi kostretti għal reġjuni sub-milimetriċi. Il-fluwidi huma mċaqalqa, imħallta, separati u pproċessati. F'sistemi mikrofluwidi, il-fluwidi huma mċaqalqa u kkontrollati jew b'mod attiv bl-użu ta 'mikropompi u mikrovalvi żgħar u simili jew b'mod passiv billi jieħdu vantaġġ mill-forzi kapillari. B'sistemi lab-on-a-chip, il-proċessi li normalment jitwettqu f'laboratorju huma minjaturizzati fuq ċippa waħda sabiex itejbu l-effiċjenza u l-mobilità kif ukoll inaqqsu l-volumi tal-kampjuni u tar-reaġenti.

Xi applikazzjonijiet ewlenin ta 'apparat u sistemi mikrofluwidi huma:

​

- Laboratorji fuq ċippa

- Screening tad-droga

- Testijiet tal-glukożju

- Mikroreattur kimiku

- Tkessiħ tal-mikroproċessur

- Mikro-ċelloli tal-fjuwil

- Kristallizzazzjoni tal-proteini

- Bidla rapida tad-drogi, manipulazzjoni ta 'ċelluli singoli

- Studji ta' ċellula waħda

- Arrays ta' mikrolens optofluidiċi li jistgħu jiġu intonati

- Sistemi mikroidrawliċi u mikropnewmatiċi (pompi tal-likwidi,

valvi tal-gass, sistemi ta’ taħlit... eċċ)

- Sistemi ta' twissija bikrija tal-bioċipp

- Sejbien ta' speċi kimiċi

- Applikazzjonijiet bijoanalitiċi

- Analiżi tad-DNA u tal-proteini fuq iċ-ċippa

- Apparat tal-isprej taż-żennuna

- Ċelloli tal-fluss tal-kwarz għall-iskoperta ta 'batterji

- Ċipep doppju jew multipli ta 'ġenerazzjoni ta' qtar

​

AGS-Engineering toffri wkoll konsultazzjoni, disinn u żvilupp tal-prodott f'sistemi u prodotti gassużi u likwidi, fuq skali żgħar. Aħna nimpjegaw għodod avvanzati ta' Komputazzjoni tal-Fluid Dynamics (CFD) kif ukoll ittestjar fil-laboratorju biex nifhmu u nħarsu l-imġieba tal-fluss kumplessa. L-inġiniera tal-mikrofluwidi tagħna użaw għodod CFD u mikroskopija biex jikkaratterizzaw il-fenomeni tat-trasport tal-likwidu fuq mikroskala f'midja poruża. Għandna wkoll kooperazzjoni mill-qrib mal-funderiji għar-riċerka, id-disinn. Żviluppa u tforni komponenti mikrofluwidi u bioMEMS. Nistgħu ngħinuk tiddisinja u tiffabbrika ċ-ċipep mikrofluwidi tiegħek stess. It-tim b'esperjenza tad-disinn taċ-ċippa tagħna jista 'jgħinek permezz tad-disinn, il-prototyping u l-fabbrikazzjoni ta' lottijiet żgħar u kwantitajiet ta 'volum ta' ċipep mikrofluwidi għall-applikazzjoni speċifika tiegħek. Il-bidu b'apparat fuq il-plastik huwa rakkomandat għal provi ta 'malajr peress li tieħu inqas ħin u spiża għall-fabbrikazzjoni meta mqabbla ma' apparati fuq PDMS. Nistgħu niffabbrikaw mudelli mikrofluwidi fuq plastiks bħal PMMA, COC. Nistgħu nagħmlu fotolitografija segwita minn litografija ratba biex noħolqu mudelli mikrofluwidi fuq PDMS. Nipproduċu kaptani tal-metall, aħna billi tħin mudelli fuq Brass u Aluminju. Il-fabbrikazzjoni tal-apparat fuq PDMS u l-ħolqien ta 'mudelli fuq plastiks u metalli jistgħu jitlestew fi żmien ftit ġimgħat. Nistgħu nipprovdu konnetturi għal mudelli fabbrikati fuq plastik fuq talba bħal konnetturi tal-port kompatibbli għal daqs tal-port ta '1mm flimkien ma' twaħħil biex jgħaqqdu tubi kapillari PEEK ta '360 mikron. Mini luer maskili b'assemblaġġ tal-pin tal-metall jista 'jiġi fornut biex jgħaqqad tubu tygon ta' dijametru ta 'ġewwa ta' 0.5 mm bejn portijiet tal-fluwidu u pompa tas-siringa. Ġibjuni tal-ħażna tal-likwidu b'kapaċità ta' 100 μl. jistgħu jiġu pprovduti wkoll. Jekk diġà għandek disinn, tista' tissottometti f'formati Autocad, .dwg jew .dxf.

​

​