MEMS​

MEMS, reiškiantis MicroElectroMechanical Systems, yra mažos lusto masto mikromašinos, sudarytos iš 1–100 mikrometrų dydžio komponentų (mikrometras yra viena milijoninė metro dalis), o MEMS įrenginių dydis paprastai svyruoja nuo 20 mikrometrų_cc781905-5cde-3194-bb3b_cf58d5. (20 milijonųjų metro dalių) iki milimetro. Dauguma MEMS įrenginių yra kelių šimtų mikronų skersmens. Paprastai juos sudaro centrinis blokas, apdorojantis duomenis, mikroprocesorius ir keli komponentai, sąveikaujantys su išore, pavyzdžiui, mikrojutikliai. Tokiose mažose skalėse klasikinės fizikos taisyklės ne visada naudingos. Dėl didelio MEMS paviršiaus ploto ir tūrio santykio paviršiaus efektai, tokie kaip elektrostatika ir drėkinimas, dominuoja tūrio efektuose, tokiuose kaip inercija ar šiluminė masė. Todėl MEMS projektavimas ir kūrimas reikalauja konkrečios patirties šioje srityje, taip pat specialios programinės įrangos, kuri atsižvelgtų į šias neklasikines fizikos taisykles.

​

MEMS tapo praktiška, ypač per pastaruosius kelis dešimtmečius, kai juos buvo galima pagaminti naudojant modifikuotas puslaidininkinių įrenginių gamybos technologijas, kurios paprastai buvo naudojamos elektronikai gaminti. Tai liejimas ir dengimas, šlapiasis ėsdinimas (KOH, TMAH) ir sausas ėsdinimas (RIE ir DRIE), elektros išlydžio apdirbimas (EDM), plonasluoksnis nusodinimas ir kitos technologijos, kuriomis galima gaminti labai mažus prietaisus.

​

Jei turite naują MEMS koncepciją, bet neturite specializuotų projektavimo įrankių ir (arba) reikiamų žinių, mes galime jums padėti. Suprojektavę, sukūrę ir pagaminę galime sukurti pritaikytą testavimo aparatinę ir programinę įrangą jūsų MEMS produktui. Dirbame su daugybe įsitvirtinusių liejyklų, kurios specializuojasi MEMS gamyboje. Tiek 150 mm, tiek 200 mm plokštelės yra apdorojamos pagal ISO/TS 16949 ir ISO 14001 registruotas ir RoHS reikalavimus atitinkančias aplinkas. Galime atlikti pažangiausius tyrimus, projektavimą, plėtrą, testavimą, kvalifikaciją, prototipų kūrimą, taip pat didelės apimties komercinę gamybą. Kai kurie populiarūs MEMS įrenginiai, kuriuos mūsų inžinieriai turi patirties, yra šie:

​

• Akselerometrai

• Giroskopai/ Girosas

• Magnetometrai

• Mikrofonai

• Rezonatoriai

• Optinės MEMS(pvz., skaitmeniniai projektoriai, visi optinio pluošto jungikliai)

• MEMS pavarosir jutikliai (pvz., judesio jutiklis, slėgio jutiklis)

• RF jungikliai ir varikliai

• Energijos kombainai

• Mikrobolometrai

 

Maži MEMS jutikliai ir pavaros įgalino naujas funkcijas išmaniuosiuose telefonuose, planšetiniuose kompiuteriuose, automobiliuose, projektoriuose ir kt. ir yra labai svarbūs daiktų internetui (IoT). Kita vertus, MEMS kelia specializuotus inžinerinius iššūkius, įskaitant nestandartinius gamybos procesus, kelių fizikos sąveiką, integraciją su IC ir individualius hermetiškos pakavimo reikalavimus. Neturint MEMS specifinės projektavimo platformos, MEMS produkto pateikimas į rinką dažnai užtrunka daug metų. Kurdami ir vystydami MEMS naudojame pažangius įrankius. „Tanner MEMS Design“ suteikia mums galimybę 3D MEMS projektavimo ir gamybos palaikymą vienoje vieningoje aplinkoje ir leidžia lengvai integruoti MEMS įrenginius su analoginio / mišraus signalo apdorojimo grandine tame pačiame IC. Tai pagerina MEMS prietaisų gamybos galimybes atliekant mechanines, termines, akustines, elektrines, elektrostatines, magnetines ir skysčių analizes. Kiti „Coventor“ programinės įrangos įrankiai siūlo mums galingas MEMS projektavimo, modeliavimo, tikrinimo ir procesų modeliavimo platformas. „Coventor“ platforma sprendžia su MEMS būdingus inžinerinius iššūkius, tokius kaip kelių fizikos sąveika, procesų variacijos, MEMS+IC integracija, MEMS+paketo sąveika. Mūsų MEMS inžinieriai gali modeliuoti ir imituoti įrenginio elgseną ir sąveiką prieš pradėdami gaminti faktiškai, o per valandas ar dienas jie gali modeliuoti arba imituoti efektus, kurie paprastai būtų užtrukę kelis mėnesius gaminant ir bandant gamykloje. Kai kurie pažangūs įrankiai, kuriuos naudoja mūsų MEMS dizaineriai, yra šie.

 

Simuliacijai:

• Tanner MEMS Design Flow iš Mentor

• MEMS+, CoventorWare, SEMulator3D iš Coventor

• „IntelliSense“.

• Comsol MEMS modulis

• ANSYS

 

Kaukėms piešti:

• AutoCAD

• Vektoriniai darbai

• Maketo redaktorius

 

Modeliavimui:

• Solidworks

 

Skaičiavimams, analitinei, skaitinei analizei:

• Matlab

• MathCAD

• Mathematica

 

Toliau pateikiamas trumpas mūsų atliekamų MEMS projektavimo ir plėtros darbų sąrašas:

• Iš maketo sukurkite MEMS 3D modelį

• Projektavimo taisyklių tikrinimas, ar galima pagaminti MEMS

• MEMS įrenginių modeliavimas ir IC projektavimas sistemos lygiu

• Pilnas sluoksnių ir dizaino geometrijos vizualizavimas

• Automatinis maketo generavimas su parametrizuotais langeliais

• Jūsų MEMS įrenginių elgesio modelių generavimas

• Išplėstinis kaukės išdėstymas ir tikrinimo eiga

• DXF failų eksportavimas   

​

MIKROFLUIDIKAS

Mūsų mikrofluidikos prietaisų projektavimo ir tobulinimo operacijos yra skirtos prietaisų ir sistemų, kuriose tvarkomi nedideli skysčių kiekiai, gamyba. Galime jums sukurti mikrofluidinius įrenginius ir pasiūlyti prototipų kūrimą ir mikrogamybą, pritaikytą jūsų programoms. Mikroskysčių įrenginių pavyzdžiai yra mikrovarantieji įtaisai, laboratorijos ant lusto sistemos, mikroterminiai įrenginiai, rašalinės spausdinimo galvutės ir kt. Mikrofluidikoje turime susidoroti su tiksliu skysčių valdymu ir manipuliavimu submilimetrų srityse. Skysčiai perkeliami, maišomi, atskiriami ir apdorojami. Mikrofluidinėse sistemose skysčiai judinami ir valdomi arba aktyviai, naudojant mažyčius mikrosiurblius, mikrovožtuvus ir panašiai, arba pasyviai pasinaudojant kapiliarinėmis jėgomis. Naudojant „lab-on-a-chip“ sistemas, procesai, kurie paprastai atliekami laboratorijoje, yra miniatiūrizuoti viename luste, siekiant padidinti efektyvumą ir mobilumą bei sumažinti mėginių ir reagentų kiekį.

Kai kurios pagrindinės mikrofluidinių prietaisų ir sistemų taikymo sritys yra šios:

​

- Laboratorijos ant lusto

- Narkotikų patikra

- Gliukozės tyrimai

- Cheminis mikroreaktorius

- Mikroprocesorinis aušinimas

- Mikro kuro elementai

- Baltymų kristalizacija

- Greitas vaistų keitimas, manipuliavimas pavienėmis ląstelėmis

- Vienaląsčių tyrimai

- Derinamos optofluidinių mikrolęšių matricos

- Mikrohidraulinės ir mikropneumatinės sistemos (skysčių siurbliai,

dujų vožtuvai, maišymo sistemos ir tt)

- Biochip išankstinio įspėjimo sistemos

- Cheminių medžiagų aptikimas

- Bioanalitiniai pritaikymai

- mikroschemos DNR ir baltymų analizė

- Purškimo įtaisai

- Kvarcinės srauto ląstelės bakterijoms aptikti

- Dviejų arba kelių lašelių generavimo lustai

​

AGS-Engineering taip pat siūlo konsultacijas, projektavimą ir gaminių kūrimą dujinių ir skystų sistemų ir gaminių srityse mažomis apimtimis. Mes naudojame pažangius skaičiavimo skysčių dinamikos (CFD) įrankius, taip pat laboratorinius bandymus, kad suprastume ir įsivaizduotume sudėtingą srauto elgesį. Mūsų mikrofluidikos inžinieriai naudojo CFD įrankius ir mikroskopiją, kad apibūdintų mikroskopinius skysčių transportavimo reiškinius poringoje terpėje. Taip pat glaudžiai bendradarbiaujame su liejyklomis tirdami, projektuodami. Kurti ir tiekti mikrofluidinius ir bioMEMS komponentus. Mes galime padėti jums sukurti ir pagaminti savo mikrofluidinius lustus. Mūsų patyrusi lustų projektavimo komanda gali padėti jums suprojektuoti, sukurti prototipus ir pagaminti nedidelius kiekius mikroskysčių lustų jūsų konkrečiai programai. Greitiems bandymams rekomenduojama pradėti nuo plastikinių prietaisų, nes jų gamyba užima mažiau laiko ir sąnaudų, palyginti su PDMS įrenginiais. Galime pagaminti mikrofluidinius raštus ant plastikų, tokių kaip PMMA, COC. Galime atlikti fotolitografiją, po kurios seka minkštoji litografija, kad sukurtume mikrofluidinius modelius PDMS. Gaminame metalo meistrus, frezuojame ant žalvario ir aliuminio. Įrenginio gamyba naudojant PDMS ir modelių kūrimas iš plastikų ir metalų gali būti baigtas per kelias savaites. Pagal pageidavimą galime pateikti jungtis ant plastiko pagamintų raštų, pvz., prievado jungtis, suderinamas su 1 mm prievado dydžiu, ir jungtis 360 mikronų PEEK kapiliariniams vamzdeliams prijungti. Galima tiekti vyrišką mini luerį su metaliniu kaiščiu, kad būtų galima sujungti 0,5 mm vidinio skersmens tygon vamzdelį tarp skysčio angų ir švirkšto siurblio. 100 μl talpos skysčių laikymo rezervuarai. taip pat galima pateikti. Jei jau turite dizainą, galite pateikti Autocad, .dwg arba .dxf formatais.

​

​