ЖАРЫМ ӨТКӨРҮШЧҮ МАТЕРИАЛДЫК ДОЛБООРУ

Биздин жарым өткөргүч материалды долбоорлоо инженерлери фундаменталдык физика деңгээлинде жарым өткөргүч түзүлүштүн иштешин талдоо үчүн атайын куралдарды камсыз кылган атайын программалык модулдарды колдонушат. Мындай модулдар изотермикалык же изотермикалык эмес транспорт моделдерин колдонуу менен дрейф-диффузия теңдемелерине негизделген. Мындай программалык куралдар бир катар практикалык түзүлүштөрдү, анын ичинде биполярдык транзисторлорду (BJTs), металл-жарым өткөргүч талаа эффективдүү транзисторлорун (MESFETs), металл-оксид-жарым өткөргүч талаа эффективдүү транзисторлорун (MOSFETs), изоляцияланган дарбазалуу биполярдык транзисторлорду () моделдөө үчүн пайдалуу. IGBT), Шоттки диоддору жана PN түйүндөрү. Multiphysics эффекттер жарым өткөргүч түзүлүштүн иштешинде маанилүү ролду ойнойт. Мындай күчтүү программалык куралдар менен биз бир нече физикалык эффекттерди камтыган моделдерди оңой түзө алабыз. Мисалы, электр түзүлүшүнүн ичиндеги жылуулук эффекттерин жылуулук өткөрүмдүүлүк физикасынын интерфейси аркылуу симуляциялоого болот. Оптикалык өтүүлөр күн батареялары, жарык берүүчү диоддор (LED) жана фотодиоддор (PDs) сыяктуу бир катар түзүлүштөрдү симуляциялоо үчүн киргизилиши мүмкүн. Биздин жарым өткөргүч программабыз узундугу 100 нм же андан көп болгон жарым өткөргүч түзүлүштөрдү моделдөө үчүн колдонулат. Программалык камсыздоонун ичинде бир катар физикалык интерфейстер бар – физикалык теңдемелердин жана чектик шарттардын жыйындысын сүрөттөө үчүн моделдик киргизүүлөрдү кабыл алуу үчүн куралдар, мисалы, жарым өткөргүч түзүлүштөрдөгү электрондорду жана тешиктерди ташууну моделдөө үчүн интерфейстер, алардын электростатикалык жүрүм-туруму... ж.б. Жарым өткөргүч интерфейси Пуассон теңдемесин электрон жана тешик заряд алып жүрүүчү концентрациялары үчүн үзгүлтүксүздүк теңдемелери менен бирге чечет. Биз моделди чечүүнү чектүү көлөм ыкмасы же чектүү элементтер ыкмасы менен тандай алабыз. Интерфейс жарым өткөргүч жана изоляциялоочу материалдар үчүн материалдык моделдерди камтыйт, ошондой эле омикалык байланыштар, Шоттки контакттары, дарбазалар жана электростатикалык чек ара шарттарынын кеңири спектри үчүн чектик шарттардан тышкары. Интерфейстеги функциялар мобилдүүлүк касиетин сүрөттөйт, анткени ал материалдын ичиндеги ташыгычтардын чачырандылыгы менен чектелген. Программалык камсыздоо куралы бир нече алдын ала аныкталган мобилдүүлүк моделдерин жана колдонуучу аныктаган мобилдүүлүк моделдерин түзүү мүмкүнчүлүгүн камтыйт. Бул эки типтеги моделдер ыктыярдуу жолдор менен айкалыштырылышы мүмкүн. Ар бир мобилдүүлүк модели чыгуучу электрон жана тешик мобилдүүлүгүн аныктайт. Чыгуу мобилдүүлүгүн башка мобилдүүлүк моделдерине киргизүү катары колдонсо болот, ал эми теңдемелерди мобилдүүлүктөрдү айкалыштыруу үчүн колдонсо болот. Интерфейс ошондой эле жарым өткөргүч доменге Auger, Direct жана Shockley-Read Hall рекомбинациясын кошуу үчүн функцияларды камтыйт же өзүбүздүн рекомбинация ылдамдыгын көрсөтүүгө мүмкүндүк берет. Жарым өткөргүч түзүлүштөрдү моделдөө үчүн допинг бөлүштүрүүнү тактоо керек. Биздин программалык курал бул үчүн допинг моделинин өзгөчөлүгүн камсыз кылат. Туруктуу, ошондой эле биз аныктаган допинг профилдери көрсөтүлүшү мүмкүн, же болжолдуу Гаусс допинг профили колдонулушу мүмкүн. Биз тышкы булактардан да маалыматтарды импорттой алабыз. Биздин программалык курал жакшыртылган Электростатика мүмкүнчүлүктөрүн сунуш кылат. Материалдар базасы бир нече материалдардын касиеттери бар.

 

TCAD жана DEVICE TCAD

Technology Computer-Aided Design (TCAD) жарым өткөргүчтөрдү иштетүү технологияларын жана түзүлүштөрүн иштеп чыгуу жана оптималдаштыруу компьютердик симуляцияларды колдонууну билдирет. Жасалууну моделдөө Process TCAD деп аталат, ал эми түзмөктүн иштешин моделдөө Device TCAD деп аталат. TCAD процесси жана аппаратты симуляциялоо куралдары CMOS, кубат, эстутум, сүрөт сенсорлору, күн батареялары жана аналогдук/RF түзмөктөрү сыяктуу колдонмолордун кеңири спектрин колдойт. Мисал катары, эгер сиз жогорку эффективдүү комплекстүү күн батареяларын иштеп чыгууну ойлонуп жатсаңыз, коммерциялык TCAD куралы иштеп чыгуу убактысын үнөмдөп, кымбат баалуу сыноолордун санын азайтат. TCAD натыйжасы жана кирешелүүлүгүнө таасир этүүчү негизги физикалык кубулуштарга түшүнүк берет. Бирок, TCAD колдонуу программалык куралдарды сатып алууну жана лицензиялоону, TCAD куралын үйрөнүүгө убакытты жана андан да профессионалдуу жана курал менен эркин сүйлөөнү талап кылат. Эгерде сиз бул программаны үзгүлтүксүз же узак мөөнөткө колдонбосоңуз, бул чындап кымбат жана кыйын болушу мүмкүн. Мындай учурларда биз сизге бул куралдарды күн сайын колдонгон инженерлерибиздин кызматын сунуштоого жардам бере алабыз. Көбүрөөк маалымат алуу үчүн биз менен байланышыңыз.

 

ЖАРЫМ ӨТКӨРҮЧТӨРДҮН ПРОЦЕССИН ДОЛБООРУ

Жарым өткөргүч өнөр жайында колдонулган жабдуулардын жана процесстердин көптөгөн түрлөрү бар. Рынокто сунуш кылынган ачкыч системасын сатып алууну дайыма ойлонуу оңой эмес жана жакшы идея эмес. Каралган колдонууга жана материалдарга жараша жарым өткөргүч капиталдык жабдууларды кылдаттык менен тандап алуу жана өндүрүш линиясына бириктирүү керек. Жарым өткөргүч түзүлүштөрдү өндүрүүчү үчүн өндүрүш линиясын куруу үчүн жогорку адистештирилген жана тажрыйбалуу инженерлер керек. Биздин өзгөчө процесс инженерлери бюджетиңизге туура келген прототипти же массалык өндүрүш линиясын иштеп чыгуу менен сизге жардам бере алышат. Биз сизге күтүүлөрүңүзгө жооп берген эң ылайыктуу процесстерди жана жабдууларды тандоого жардам бере алабыз. Биз сизге белгилүү бир жабдуулардын артыкчылыктарын түшүндүрүп, прототиптөө же массалык өндүрүш линияңызды түзүүнүн бардык этаптарында жардам беребиз. Биз сизди ноу-хау боюнча үйрөтүп, линияңызды иштетүүгө даяр кыла алабыз. Мунун баары сиздин муктаждыктарыңыздан көз каранды. Биз ар бир учур боюнча эң жакшы чечимди түзө алабыз. Жарым өткөргүч түзүлүштөрдү өндүрүүдө колдонулган жабдуулардын кээ бир негизги түрлөрү - фотолитографиялык аспаптар, жайгаштыруу системалары, оюу системалары, ар кандай сыноо жана мүнөздөмө куралдары……ж.б. Бул инструменттердин көбү олуттуу инвестициялар жана корпорациялар туура эмес чечимдерге чыдай алышпайт, айрыкча бир нече саат токтоп калуу да кыйратуучу болушу мүмкүн. Көптөгөн объектилер дуушар болушу мүмкүн болгон кыйынчылыктардын бири, алардын заводунун инфраструктурасы жарым өткөргүч технологиялык жабдууларды жайгаштыруу үчүн ылайыктуу экендигин текшерүү. Белгилүү бир жабдыкты же кластердик инструментти орнотуу боюнча катуу чечим кабыл алуудан мурун кылдаттык менен карап чыгуу керек, анын ичинде таза бөлмөнүн учурдагы деңгээли, керек болсо таза бөлмөнү жаңыртуу, электр жана прекурсордук газ линияларын пландаштыруу, эргономия, коопсуздук. , операциялык оптималдаштыруу….ж.б. Бул инвестицияларга кирүүдөн мурун биз менен сүйлөшүңүз. Пландарыңызды жана долбоорлоруңузду биздин тажрыйбалуу жарым өткөргүч фабрикасынын инженерлери жана менеджерлери карап чыгышы сиздин бизнес аракеттериңизге оң гана салым кошот.

 

ЖАРЫМ ӨТКӨРҮШЧҮ МАТЕРИАЛДАРДЫ ЖАНА АППАРАТТАРДЫ СЫНОО

Жарым өткөргүчтөрдү иштетүү технологиялары сыяктуу эле, жарым өткөргүч материалдарды жана түзүлүштөрдү сыноо жана QC жогорку адистештирилген жабдууларды жана инженердик ноу-хауды талап кылат. Биз бул жаатта кардарларыбызга белгилүү бир колдонмо үчүн эң жакшы жана эң үнөмдүү болгон сыноо жана метрологиялык жабдуулардын түрү боюнча эксперттик жетекчиликти жана консультацияларды берүү, кардардын объектисинде инфраструктуранын ылайыктуулугун аныктоо жана текшерүү аркылуу кызмат кылабыз…..ж.б. Таза бөлмөнүн булгануу деңгээли, полдогу титирөө, абанын айлануу багыттары, адамдардын кыймылы ж.б.у.с. бардыгын кылдаттык менен баалоо жана баалоо керек. Ошондой эле биз сиздин үлгүлөрүңүздү өз алдынча сынай алабыз, деталдуу талдоо жүргүзө алабыз, бузулуунун негизги себебин аныктай алабыз ... ж.б. тышкы келишимдик кызмат көрсөтүүчү катары. Прототиби тестирлөөдөн баштап, толук масштабдуу өндүрүшкө чейин биз сизге баштапкы материалдардын тазалыгын камсыз кылууга жардам бере алабыз, биз иштеп чыгуу убактысын кыскартууга жана жарым өткөргүч өндүрүш чөйрөсүндөгү түшүмдүүлүк көйгөйлөрүн чечүүгө жардам бере алабыз.

 

Биздин жарым өткөргүч инженерлер жарым өткөргүч процесси жана түзүлүштү долбоорлоо үчүн төмөнкү программалык камсыздоону жана симуляция куралдарын колдонушат:

• ANSYS RedHawk / Q3D Extractor / Totem / PowerArtist

• MicroTec SiDif / SemSim / SibGraf

• COMSOL жарым өткөргүч модулу

 

Жарым өткөргүч материалдарды жана түзүлүштөрдү иштеп чыгуу жана сыноо үчүн бизде алдыңкы лабораториялык жабдуулардын кеңири спектри бар, анын ичинде:

• Экинчи иондук масса спектрометриясы (SIMS), Учуу убактысы SIMS (TOF-SIMS)

• Трансмиссиялык электрондук микроскопия – сканерлөөчү электрондук микроскопия (TEM-STEM)

• Скандоочу электрондук микроскоп (SEM)

• Рентгендик фотоэлектрондук спектроскопия – Химиялык анализ үчүн электрондук спектроскопия (XPS-ESCA)

• Гель өтүү хроматографиясы (GPC)

• Жогорку натыйжалуу суюктук хроматографиясы (HPLC)

• Газ хроматографиясы – Масс-спектрометрия (GC-MS)

• Индуктивдүү кошулган плазма масса спектрометриясы (ICP-MS)

• Жарык разряддын масса спектрометриясы (GDMS)

• Лазердик абляция индуктивдүү туташкан плазма масса спектрометриясы (LA-ICP-MS)

• Суюк хроматографиялык масса спектрометриясы (LC-MS)

• Auger-электрондук спектроскопия (AES)

• Энергетикалык дисперсиялык спектроскопия (EDS)

• Фурье трансформациялык инфракызыл спектроскопиясы (FTIR)

• Электрондук энергияны жоготуу спектроскопиясы (EELS)

• Индуктивдүү туташкан плазмалык оптикалык эмиссия спектроскопиясы (ICP-OES)

• Раман

• Рентген нурларынын дифракциясы (XRD)

• Рентгендик флуоресценция (XRF)

• Атомдук күч микроскопиясы (AFM)

• Кош нур - Фокусталган иондук нур (Кош нур – FIB)

• Электрондук чачыратуу дифракциясы (EBSD)

• Оптикалык профилометрия

• Калдык газдын анализи (RGA) & Ички суу буусунун мазмуну

• Инструменталдык газ анализи (IGA)

• Рутерфорддун артка чачыраган спектрометриясы (RBS)

• Толук чагылуу рентген нурларынын флуоресценциясы (TXRF)

• Рентген нурларын чагылдыруу (XRR)

• Динамикалык механикалык анализ (DMA)

• MIL-STD талаптарына ылайык кыйратуучу физикалык анализ (DPA).

• Дифференциалдык сканерлөөчү калориметрия (DSC)

• Термогравиметрикалык анализ (TGA)

• Термомеханикалык анализ (TMA)

• Реалдуу убакыттагы рентген нурлары (RTX)

• Скандоочу акустикалык микроскопия (SAM)

• Электрондук касиеттерин баалоо үчүн тесттер

• Физикалык жана механикалык тесттер

• Башка термикалык сыноолор зарыл

• Экологиялык палаталар, Картаюу сыноолору

 

Жарым өткөргүчтөр жана алардан жасалган түзүлүштөр боюнча биз жүргүзгөн жалпы сыноолордун айрымдары төмөнкүлөр:

• Жарым өткөргүч пластиналардагы беттик металлдарды сандык эсептөө менен тазалоонун эффективдүүлүгүн баалоо

• Жарым өткөргүч түзүлүштөрдөгү изи деңгээлиндеги аралашмаларды жана бөлүкчөлөрдүн булганышын аныктоо жана табуу

• Жука пленкалардын калыңдыгын, тыгыздыгын жана курамын өлчөө

• Кошумча кошулмалардын дозасын жана профиль формасынын мүнөздөмөсү, жапырт кошулмалардын жана аралашмалардын санын аныктоо

• ИКтин кесилиш структурасын экспертизалоо

• Сканирлөөчү электрондук микроскопия-электрондук энергияны жоготуу спектроскопиясы (STEM-EELS) аркылуу жарым өткөргүчтүү микротүзмөктө матрицалык элементтердин эки өлчөмдүү картасы.

• Auger Electron Spectroscopy (FE-AES) аркылуу интерфейстердеги булганууну аныктоо

• Беттик морфологияны визуалдаштыруу жана сандык баалоо

• Вафли тумандын жана түстүн өзгөрүшүн аныктоо

• ATE инженерия жана өндүрүш жана өнүктүрүү үчүн сыноо

• Жарым өткөргүч продуктуну сыноо, IC жарактуулугун камсыз кылуу үчүн күйүү жана ишенимдүүлүк квалификациясы