MEMS​

MicroElectroMechanical Systems를 나타내는 MEMS는 크기가 1~100마이크로미터(마이크로미터는 100만분의 1미터) 사이의 구성 요소로 구성된 초소형 칩 스케일 마이크로머신이며 MEMS 장치는 일반적으로 20마이크로미터의 크기 범위입니다  (미터의 2천만분의 1)에서 밀리미터로. 대부분의 MEMS 장치는 지름이 수백 미크론입니다. 일반적으로 데이터를 처리하는 중앙 장치, 마이크로 프로세서 및 마이크로 센서와 같이 외부와 상호 작용하는 여러 구성 요소로 구성됩니다. 그러한 작은 규모에서 고전 물리학의 규칙이 항상 유용한 것은 아닙니다. MEMS의 큰 표면적 대 부피 비율로 인해 정전기 및 습윤과 같은 표면 효과가 관성 또는 열 질량과 같은 부피 효과를 지배합니다. 따라서 MEMS 설계 및 개발에는 이러한 비고전적인 물리 규칙을 고려하는 특정 소프트웨어뿐만 아니라 현장에서의 특정 경험이 필요합니다.

​

MEMS는 일반적으로 전자 제품을 만드는 데 사용되는 수정된 반도체 장치 제조 기술을 사용하여 제조할 수 있었던 지난 수십 년 동안 특히 실용적이 되었습니다. 여기에는 몰딩 및 도금, 습식 에칭(KOH, TMAH) 및 건식 에칭(RIE 및 DRIE), 방전 가공(EDM), 박막 증착 및 기타 초소형 장치를 제조할 수 있는 기술이 포함됩니다.

​

새로운 MEMS 개념이 있지만 전문화된 설계 도구 및/또는 적절한 전문 지식이 없는 경우 도움을 드릴 수 있습니다. 설계, 개발 및 제작 후 MEMS 제품을 위한 맞춤형 테스트 하드웨어 및 소프트웨어를 개발할 수 있습니다. 우리는 MEMS 제조를 전문으로 하는 다수의 설립된 파운드리와 협력합니다. 150mm 및 200mm 웨이퍼는 모두 ISO/TS 16949 및 ISO 14001 등록 및 RoHS 준수 환경에서 처리됩니다. 우리는 첨단 연구, 디자인, 개발, 테스트, 검증, 프로토타이핑 및 대량 상업 생산을 수행할 수 있습니다. 당사 엔지니어가 경험한 몇 가지 인기 있는 MEMS 장치는 다음과 같습니다.

​

• 가속도계

• 자이로스코프/ 자이로

• 자력계

• 마이크

• 공진기

• 광학 MEMS(디지털 프로젝터, 모든 광섬유 스위치 등)

• MEMS 액추에이터및 센서(모션 센서, 압력 센서 등)

• RF 스위치 및 버랙터

• 에너지 수확기

• 마이크로 볼로미터

 

작은 MEMS 센서와 액추에이터는 스마트폰, 태블릿, 자동차, 프로젝터 등의 새로운 기능을 가능하게 했습니다. 사물 인터넷(IoT)에 매우 중요합니다. 반면에 MEMS는 비표준 제조 프로세스, 다중 물리학 상호 작용, IC와의 통합 및 맞춤형 밀폐 패키징 요구 사항을 비롯한 전문 엔지니어링 문제를 제시합니다. MEMS 전용 설계 플랫폼이 없으면 MEMS 제품을 시장에 출시하는 데 수년이 걸리는 경우가 많습니다. 우리는 MEMS를 설계하고 개발하는 고급 도구를 사용합니다. Tanner MEMS Design은 하나의 통합 환경에서 3D MEMS 설계 및 제작 지원을 가능하게 하고 MEMS 장치를 동일한 IC의 아날로그/혼합 신호 처리 회로와 쉽게 통합할 수 있도록 합니다. 기계, 열, 음향, 전기, 정전기, 자기 및 유체 분석을 통해 MEMS 장치의 제조 가능성을 향상시킵니다. Coventor의 다른 소프트웨어 도구는 MEMS 설계, 시뮬레이션, 검증 및 프로세스 모델링을 위한 강력한 플랫폼을 제공합니다. Coventor의 플랫폼은 다중 물리학 상호 작용, 프로세스 변형, MEMS+IC 통합, MEMS+패키지 상호 작용과 같은 MEMS 관련 엔지니어링 문제를 해결합니다. 당사의 MEMS 엔지니어는 실제 제조에 착수하기 전에 장치 동작 및 상호 작용을 모델링 및 시뮬레이션할 수 있으며, 일반적으로 팹에서 구축 및 테스트하는 데 몇 달이 걸렸을 효과를 몇 시간 또는 며칠 만에 모델링하거나 시뮬레이션할 수 있습니다. MEMS 설계자가 사용하는 고급 도구 중 일부는 다음과 같습니다.

 

시뮬레이션의 경우:

• Mentor의 Tanner MEMS 설계 흐름

• Coventor의 MEMS+, CoventorWare, SEMulator3D

• 인텔리센스

• Comsol MEMS 모듈

• 앤시스

 

그리기 마스크의 경우:

• AutoCAD

• 벡터웍스

• 레이아웃 편집기

 

모델링:

• 솔리드웍스

 

계산, 분석, 수치 분석:

• 매트랩

• MathCAD

• 수학

 

다음은 우리가 수행하는 MEMS 설계 및 개발 작업의 간략한 목록입니다.

• 레이아웃에서 MEMS 3D 모델 생성

• MEMS 제조 가능성을 위한 설계 규칙 확인

• MEMS 장치 및 IC 설계의 시스템 수준 시뮬레이션

• 완벽한 레이어 및 디자인 지오메트리 시각화

• 매개변수화된 셀을 사용한 자동 레이아웃 생성

• MEMS 장치의 행동 모델 생성

• 고급 마스크 레이아웃 및 검증 흐름

• DXF 파일 내보내기   

​

미세 유체

당사의 미세유체 장치 설계 및 개발 작업은 소량의 유체가 처리되는 장치 및 시스템의 제조를 목표로 합니다. 우리는 귀하를 위해 미세 유체 장치를 설계하고 귀하의 응용 분야에 맞춤화된 프로토타이핑 및 미세 제조를 제공할 수 있는 능력을 보유하고 있습니다. 미세유체 장치의 예로는 미세 추진 장치, 랩온어칩 시스템, 미세 열 장치, 잉크젯 프린트헤드 등이 있습니다. 미세유체학에서 우리는 밀리미터 이하 영역으로 제한된 유체의 정확한 제어 및 조작을 처리해야 합니다. 유체는 이동, 혼합, 분리 및 처리됩니다. 미세 유체 시스템에서 유체는 작은 마이크로 펌프와 마이크로 밸브 등을 사용하여 능동적으로 이동하거나 모세관 힘을 수동적으로 활용하여 이동 및 제어됩니다. Lab-on-a-Chip 시스템을 사용하면 일반적으로 실험실에서 수행되는 프로세스를 단일 칩에서 소형화하여 효율성과 이동성을 높이고 시료 및 시약 양을 줄입니다.

미세 유체 장치 및 시스템의 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.

​

- 칩에 연구소

- 약물 스크리닝

- 포도당 검사

- 화학 마이크로 반응기

- 마이크로프로세서 냉각

- 마이크로 연료전지

- 단백질 결정화

- 신속한 약물 변화, 단세포 조작

- 단세포 연구

- 조정 가능한 광유체 마이크로렌즈 어레이

- 미세유압 및 미세공압 시스템(액체 펌프,

가스 밸브, 혼합 시스템 등)

- 바이오칩 조기경보시스템

- 화학종 검출

- 생체분석 응용

- 온칩 DNA 및 단백질 분석

- 노즐 스프레이 장치

- 박테리아 검출을 위한 Quartz 플로우 셀

- 이중 또는 다중 액적 생성 칩

​

AGS-Engineering은 또한 소규모의 기체 및 액체 시스템과 제품에 대한 컨설팅, 설계 및 제품 개발을 제공합니다. 우리는 복잡한 흐름 거동을 이해하고 시각화하기 위해 고급 전산 유체 역학(CFD) 도구와 실험실 테스트를 사용합니다. 우리의 미세 유체 공학 엔지니어는 CFD 도구와 현미경을 사용하여 다공성 매질에서 미세 액체 수송 현상을 특성화했습니다. 우리는 또한 연구, 설계를 위해 파운드리와 긴밀한 협력 관계를 맺고 있습니다. Microfluidic & bioMEMS 부품 개발 및 공급 우리는 당신이 자신의 미세 유체 칩을 설계하고 제작하는 데 도움을 줄 수 있습니다. 당사의 숙련된 칩 설계 팀은 귀하의 특정 애플리케이션을 위한 소량 및 대량의 미세 유체 칩의 설계, 프로토타이핑 및 제조를 통해 귀하를 도울 수 있습니다. PDMS의 장치에 비해 제작 시간과 비용이 적기 때문에 빠른 시험을 위해 플라스틱 장치로 시작하는 것이 좋습니다. PMMA, COC와 같은 플라스틱에 미세유체 패턴을 제작할 수 있습니다. PDMS에서 미세 유체 패턴을 생성하기 위해 포토리소그래피에 이어 소프트 리소그래피를 수행할 수 있습니다. 우리는 금속 마스터를 생산하며 황동 및 알루미늄에 패턴을 밀링합니다. PDMS에서의 소자 제작과 플라스틱과 금속의 패턴 제작은 몇 주 안에 완료될 수 있습니다. 360미크론 PEEK 모세관을 연결하기 위한 피팅과 함께 1mm 포트 크기와 호환되는 포트 커넥터와 같이 요청 시 플라스틱에 제작된 패턴용 커넥터를 제공할 수 있습니다. 유체 포트와 주사기 펌프 사이에 내경 0.5mm의 타이곤 튜브를 연결하기 위해 금속 핀 어셈블리가 있는 수컷 미니 루어를 공급할 수 있습니다. 용량 100 μl의 액체 저장 저장소. 도 제공될 수 있습니다. 이미 디자인이 있는 경우 Autocad, .dwg 또는 .dxf 형식으로 제출할 수 있습니다.

​

​