MEMS​

MEMS, singkatan dari MicroElectroMechanical Systems adalah mesin mikro skala chip kecil yang terdiri dari komponen berukuran antara 1 hingga 100 mikrometer (mikrometer adalah sepersejuta meter) dan perangkat MEMS umumnya berukuran mulai dari 20 mikrometer  (20 sepersejuta meter) hingga satu milimeter. Sebagian besar perangkat MEMS berukuran beberapa ratus mikron. Biasanya terdiri dari unit pusat yang memproses data, mikroprosesor, dan beberapa komponen yang berinteraksi dengan bagian luar seperti mikrosensor. Pada skala ukuran kecil seperti itu, aturan fisika klasik tidak selalu berguna. Karena rasio luas permukaan terhadap volume MEMS yang besar, efek permukaan seperti elektrostatika dan pembasahan mendominasi efek volume seperti inersia atau massa termal. Oleh karena itu, desain dan pengembangan MEMS memang memerlukan pengalaman khusus di lapangan serta perangkat lunak khusus yang mempertimbangkan aturan fisika non-klasik ini.

​

MEMS menjadi praktis terutama selama beberapa dekade terakhir setelah mereka dapat dibuat menggunakan teknologi fabrikasi perangkat semikonduktor yang dimodifikasi, yang biasanya digunakan untuk membuat elektronik. Ini termasuk pencetakan dan pelapisan, etsa basah (KOH, TMAH) dan etsa kering (RIE dan DRIE), pemesinan pelepasan listrik (EDM), deposisi film tipis dan teknologi lain yang mampu membuat perangkat yang sangat kecil.

​

Jika Anda memiliki konsep MEMS baru tetapi tidak memiliki alat desain khusus dan/atau keahlian yang tepat, kami dapat membantu Anda. Setelah desain, pengembangan, dan fabrikasi, kami dapat mengembangkan perangkat keras dan perangkat lunak uji yang disesuaikan untuk produk MEMS Anda. Kami bekerja dengan sejumlah pengecoran mapan khusus dalam fabrikasi MEMS. Wafer 150mm dan 200mm diproses di bawah ISO/TS 16949 dan ISO 14001 terdaftar dan lingkungan yang sesuai dengan RoHS. Kami mampu melakukan penelitian terdepan, desain, pengembangan, pengujian, kualifikasi, pembuatan prototipe serta produksi komersial volume tinggi. Beberapa perangkat MEMS populer yang berpengalaman dalam teknisi kami meliputi:

​

• Akselerometer

• Giroskop/ Gyros

• Magnetometer

• Mikrofon

• Resonator

• MEMS optik(seperti proyektor digital, semua sakelar serat optik)

• Aktuator MEMSdan Sensor (seperti sensor gerak, sensor tekanan)

• Sakelar & Varaktor RF

• Pemanen Energi

• Mikro-Bolometer

 

Sensor dan aktuator MEMS kecil telah mengaktifkan fungsionalitas baru di ponsel pintar, tablet, mobil, proyektor...dll. dan sangat penting untuk Internet of Things (IoT). Di sisi lain, MEMS menghadirkan tantangan rekayasa khusus, termasuk proses fabrikasi non-standar, interaksi multi-fisika, integrasi dengan IC, dan persyaratan pengemasan kedap udara khusus. Tanpa platform desain khusus MEMS, seringkali dibutuhkan waktu bertahun-tahun untuk membawa produk MEMS ke pasar. Kami menggunakan alat canggih untuk merancang dan mengembangkan MEMS. Tanner MEMS Design memungkinkan desain MEMS 3D dan dukungan fabrikasi dalam satu lingkungan terpadu, dan memudahkan untuk mengintegrasikan perangkat MEMS dengan sirkuit pemrosesan sinyal analog/campuran pada IC yang sama. Ini meningkatkan kemampuan manufaktur perangkat MEMS melalui analisis mekanis, termal, akustik, listrik, elektrostatik, magnetik, dan fluida. Perangkat lunak lain dari Coventor menawarkan platform yang kuat untuk desain MEMS, simulasi, verifikasi, dan pemodelan proses. Platform Coventor membahas tantangan teknik khusus MEMS seperti interaksi multi-fisika, variasi proses, integrasi MEMS+IC, interaksi paket MEMS+. Insinyur MEMS kami dapat memodelkan dan mensimulasikan perilaku dan interaksi perangkat sebelum melakukan fabrikasi yang sebenarnya, dan dalam hitungan jam atau hari, mereka dapat memodelkan atau mensimulasikan efek yang biasanya membutuhkan waktu berbulan-bulan untuk membangun dan menguji di pabrik. Beberapa alat canggih yang digunakan oleh desainer MEMS kami adalah sebagai berikut.

 

Untuk simulasi:

• Alur Desain MEMS Tanner dari Mentor

• MEMS+, CoventorWare, SEMulator3D dari Coventor

• IntelliSense

• Modul MEMS Comsol

• ANSYS

 

Untuk menggambar topeng:

• AutoCAD

• karya vektor

• Editor Tata Letak

 

Untuk pemodelan:

• Solidworks

 

Untuk perhitungan, analitis, analisis numerik:

• Matlab

• MathCAD

• matematika

 

Berikut adalah daftar singkat pekerjaan desain & pengembangan MEMS yang kami lakukan:

• Buat model MEMS 3D dari tata letak

• Pemeriksaan aturan desain untuk kemampuan manufaktur MEMS

• Simulasi tingkat sistem perangkat MEMS dan desain IC

• Lapisan lengkap & visualisasi geometri desain

• Pembuatan tata letak otomatis dengan sel berparameter

• Generasi model perilaku perangkat MEMS Anda

• Tata letak topeng tingkat lanjut dan alur verifikasi

• Ekspor file DXF   

​

MIKROFLUIDA

Operasi desain dan pengembangan perangkat mikrofluida kami ditujukan untuk fabrikasi perangkat dan sistem di mana volume kecil cairan ditangani. Kami memiliki kemampuan untuk merancang perangkat mikofluida untuk Anda dan menawarkan pembuatan prototipe & manufaktur mikro yang disesuaikan untuk aplikasi Anda. Contoh perangkat mikofluida adalah perangkat propulsi mikro, sistem lab-on-a-chip, perangkat mikro-termal, printhead inkjet dan banyak lagi. Dalam mikrofluida kita harus berurusan dengan kontrol dan manipulasi cairan yang tepat yang dibatasi ke daerah sub-milimeter. Fluida dipindahkan, dicampur, dipisahkan dan diproses. Dalam sistem mikofluida, cairan dipindahkan dan dikendalikan baik secara aktif menggunakan pompa mikro kecil dan katup mikro dan sejenisnya atau secara pasif memanfaatkan gaya kapiler. Dengan sistem lab-on-a-chip, proses yang biasanya dilakukan di lab diperkecil pada satu chip untuk meningkatkan efisiensi dan mobilitas serta mengurangi volume sampel dan reagen.

Beberapa aplikasi utama perangkat dan sistem mikofluida adalah:

​

- Laboratorium pada sebuah chip

- Skrining obat

- Tes glukosa

- Mikroreaktor kimia

- Pendinginan mikroprosesor

- Sel bahan bakar mikro

- Kristalisasi protein

- Perubahan obat yang cepat, manipulasi sel tunggal

- Studi sel tunggal

- Susunan lensa mikro optofluida yang dapat disetel

- Sistem mikrohidraulik & mikropneumatik (pompa cair,

katup gas, sistem pencampuran ... dll)

- Sistem peringatan dini Biochip

- Deteksi spesies kimia

- Aplikasi bioanalitik

- Analisis DNA dan protein dalam chip

- Perangkat semprotan nosel

- Sel aliran kuarsa untuk mendeteksi bakteri

- Chip generasi tetesan ganda atau ganda

​

AGS-Engineering juga menawarkan konsultasi, desain dan pengembangan produk dalam sistem dan produk gas dan cair, dalam skala kecil. Kami menggunakan alat Computational Fluid Dynamics (CFD) canggih serta pengujian laboratorium untuk memahami dan memvisualisasikan perilaku aliran yang kompleks. Insinyur mikrofluida kami telah menggunakan alat CFD dan mikroskop untuk mengkarakterisasi fenomena transportasi cairan skala mikro dalam media berpori. Kami juga memiliki kerjasama yang erat dengan pengecoran untuk penelitian, desain. Mengembangkan dan memasok komponen mikrofluida & bioMEMS. Kami dapat membantu Anda merancang & membuat chip mikofluida Anda sendiri. Tim perancang chip kami yang berpengalaman dapat membantu Anda melalui desain, pembuatan prototipe, dan fabrikasi lot kecil dan jumlah volume chip mikofluida untuk aplikasi spesifik Anda. Memulai dengan perangkat berbahan plastik direkomendasikan untuk uji coba cepat karena membutuhkan waktu dan biaya fabrikasi yang lebih sedikit dibandingkan dengan perangkat pada PDMS. Kami dapat membuat pola Microfluidic pada plastik seperti PMMA, COC. Kita bisa melakukan fotolitografi diikuti dengan soft lithography untuk membuat pola mikofluida pada PDMS. Kami memproduksi master logam, kami dengan pola penggilingan di Kuningan dan Aluminium. Fabrikasi perangkat pada PDMS dan pembuatan pola pada plastik dan logam dapat diselesaikan dalam beberapa minggu. Kami dapat menyediakan konektor untuk pola yang dibuat pada plastik berdasarkan permintaan seperti konektor port yang kompatibel untuk ukuran port 1mm bersama dengan pemasangan untuk menghubungkan tabung kapiler MENGINTIP 360 mikron. Mini luer jantan dengan rakitan pin logam dapat disuplai untuk menghubungkan tabung tygon berdiameter dalam 0,5 mm antara port cairan dan pompa jarum suntik. Reservoir penyimpanan cairan kapasitas 100 l. juga dapat disediakan. Jika Anda sudah memiliki desain, Anda dapat mengirimkan dalam format Autocad, .dwg atau .dxf.

​

​