MEMS​

A MEMS, a MicroElectroMechanical Systems rövidítése: apró chipméretű mikrogépek, amelyek 1 és 100 mikrométer közötti alkatrészekből állnak (egy mikrométer a méter egy milliomod része), és a MEMS-eszközök mérete általában 20 mikrométer. (a méter 20 milliomod része) milliméterre. A legtöbb MEMS-eszköz néhány száz mikron átmérőjű. Általában egy adatokat feldolgozó központi egységből, a mikroprocesszorból és több, a külsővel kölcsönhatásba lépő alkatrészből, például mikroszenzorokból állnak. Ilyen kis méreteknél a klasszikus fizika szabályai nem mindig hasznosak. A MEMS nagy felület/térfogat arányának köszönhetően a felületi hatások, például az elektrosztatika és a nedvesedés dominálnak a térfogati hatások között, mint például a tehetetlenség vagy a termikus tömeg. Ezért a MEMS tervezése és fejlesztése különleges tapasztalatot igényel ezen a területen, valamint olyan speciális szoftvert, amely figyelembe veszi ezeket a nem klasszikus fizikai szabályokat.

​

A MEMS különösen az elmúlt néhány évtizedben vált gyakorlatiassá, miután módosított félvezető eszközök gyártási technológiáival előállíthatók, amelyeket általában elektronika gyártására használtak. Ezek közé tartozik a fröccsöntés és bevonat, a nedves maratás (KOH, TMAH) és a száraz maratás (RIE és DRIE), az elektromos kisüléses megmunkálás (EDM), a vékonyréteg-leválasztás és más technológiák, amelyek nagyon kicsi eszközök gyártására alkalmasak.

​

Ha új MEMS koncepcióval rendelkezik, de nem rendelkezik a speciális tervezési eszközökkel és/vagy a megfelelő szakértelemmel, mi segítünk. Tervezés, fejlesztés és gyártás után testreszabott teszthardvert és szoftvert fejleszthetünk az Ön MEMS termékéhez. Számos, a MEMS gyártására szakosodott öntödével dolgozunk együtt. Mind a 150 mm-es, mind a 200 mm-es lapkák feldolgozása ISO/TS 16949 és ISO 14001 szabvány szerint regisztrált és RoHS-kompatibilis környezetben történik. Képesek vagyunk élvonalbeli kutatást, tervezést, fejlesztést, tesztelést, minősítést, prototípuskészítést, valamint nagy volumenű kereskedelmi gyártást végezni. Mérnökeink tapasztalattal rendelkeznek néhány népszerű MEMS-eszközben:

​

• Gyorsulásmérők

• Giroszkópok/ Gyros

• Magnetométerek

• Mikrofonok

• Rezonátorok

• Optikai MEMS(például digitális projektorok, minden optikai száloptikai kapcsoló)

• MEMS aktuátorokés érzékelők (például mozgásérzékelő, nyomásérzékelő)

• RF kapcsolók és varaktorok

• Energia betakarítók

• Mikro-bolométerek

 

Az apró MEMS-érzékelők és aktuátorok új funkciókat tettek lehetővé okostelefonokban, táblagépekben, autókban, projektorokban stb. és kritikus fontosságúak a dolgok internete (IoT) számára. Másrészt a MEMS speciális mérnöki kihívásokat jelent, beleértve a nem szabványos gyártási folyamatokat, a több fizikai interakciót, az IC-kkel való integrációt és az egyedi hermetikus csomagolási követelményeket. MEMS-specifikus tervezési platform nélkül gyakran évekbe telik egy MEMS-termék piacra dobása. Speciális eszközöket használunk a MEMS tervezésében és fejlesztésében. A Tanner MEMS Design lehetővé teszi számunkra a 3D MEMS tervezési és gyártási támogatást egy egységes környezetben, és megkönnyíti a MEMS eszközök integrálását analóg/vegyes jel feldolgozó áramkörrel ugyanazon az IC-n. Mechanikai, termikus, akusztikai, elektromos, elektrosztatikus, mágneses és folyadékanalízissel javítja a MEMS eszközök gyárthatóságát. A Coventor egyéb szoftvereszközei hatékony platformokat kínálnak a MEMS tervezéshez, szimulációhoz, ellenőrzéshez és folyamatmodellezéshez. A Coventor platformja olyan MEMS-specifikus mérnöki kihívásokkal foglalkozik, mint például a többfizikai interakciók, folyamatvariációk, MEMS+IC integráció, MEMS+csomag interakció. MEMS mérnökeink képesek modellezni és szimulálni az eszközök viselkedését és interakcióit, mielőtt elköteleznék magukat a tényleges gyártás mellett, és órákban vagy napokban képesek modellezni vagy szimulálni azokat a hatásokat, amelyek általában hónapokig tartó építési és tesztelési folyamatot igényeltek volna. A MEMS tervezőink által használt fejlett eszközök közül néhány a következő.

 

Szimulációkhoz:

• Tanner MEMS Design Flow a Mentortól

• MEMS+, CoventorWare, SEMulator3D a Coventortól

• IntelliSense

• Comsol MEMS modul

• ANSYS

 

Maszkok rajzolásához:

• AutoCAD

• Vectorworks

• Elrendezés szerkesztő

 

Modellezéshez:

• Megbízható munkák

 

Számításokhoz, analitikai, numerikus elemzéshez:

• Matlab

• MathCAD

• Mathematica

 

Az alábbiakban röviden összefoglaljuk az általunk végzett MEMS tervezési és fejlesztési munkákat:

• Hozzon létre egy MEMS 3D modellt az elrendezésből

• Tervezési szabály ellenőrzése a MEMS gyárthatóság szempontjából

• MEMS eszközök és IC tervezés rendszerszintű szimulációja

• Teljes réteg- és geometriai megjelenítés

• Automatikus elrendezés generálás paraméterezett cellákkal

• A MEMS-eszközök viselkedési modelljeinek generálása

• Speciális maszkelrendezés és ellenőrzési folyamat

• DXF fájlok exportálása   

​

MIKROFLUIDICS

Mikrofluidikai eszköztervezési és fejlesztési tevékenységeink olyan eszközök és rendszerek gyártására irányulnak, amelyekben kis mennyiségű folyadékot kezelnek. Képesek vagyunk mikrofluidikus eszközöket tervezni az Ön számára, és az Ön alkalmazásaira szabott prototípus- és mikrogyártást kínálunk. Példák a mikrofluidikus eszközökre: mikro-meghajtó eszközök, lab-on-a-chip rendszerek, mikro-termikus eszközök, tintasugaras nyomtatófejek és egyebek. A mikrofluidikában a miliméter alatti tartományokba szorított folyadékok pontos szabályozásával és manipulálásával kell foglalkoznunk. A folyadékokat mozgatják, keverik, szétválasztják és feldolgozzák. A mikrofluidikus rendszerekben a folyadékokat vagy aktívan mozgatják és szabályozzák apró mikropumpák és mikroszelepek és hasonlók segítségével, vagy passzívan, kihasználva a kapilláris erőket. A lab-on-a-chip rendszerekben az általában laboratóriumban végzett folyamatok egyetlen chipen vannak miniatürizálva a hatékonyság és a mobilitás fokozása, valamint a minta- és reagensmennyiség csökkentése érdekében.

A mikrofluidikus eszközök és rendszerek néhány fő alkalmazása:

​

- Laboratóriumok chipen

- Drogszűrés

- Glükóz tesztek

- Vegyi mikroreaktor

- Mikroprocesszoros hűtés

- Mikro üzemanyagcellák

- Fehérje kristályosítás

- Gyors gyógyszercsere, egysejtű manipuláció

- Egysejtes vizsgálatok

- Hangolható optofluidikus mikrolencse-tömbök

- Mikrohidraulikus és mikropneumatikus rendszerek (folyadékszivattyúk,

gázszelepek, keverőrendszerek stb.)

- Biochip korai figyelmeztető rendszerek

- Vegyi anyagok kimutatása

- Bioanalitikai alkalmazások

- On-chip DNS és fehérje elemzés

- Fúvókás permetező készülékek

- Kvarc áramlási cellák baktériumok kimutatására

- Kettős vagy többszörös cseppgeneráló chipek

​

Az AGS-Engineering tanácsadást, tervezést és termékfejlesztést is kínál gáz- és folyékony halmazállapotú rendszerekben és termékekben, kis méretekben. Fejlett Computational Fluid Dynamics (CFD) eszközöket, valamint laboratóriumi vizsgálatokat alkalmazunk az összetett áramlási viselkedés megértéséhez és megjelenítéséhez. Mikrofluidikai mérnökeink CFD eszközökkel és mikroszkóppal jellemezték a mikroméretű folyadékszállítási jelenségeket porózus közegben. Szorosan együttműködünk öntödékkel a kutatás és a tervezés terén. Mikrofluidikus és bioMEMS komponensek fejlesztése és szállítása. Segítünk megtervezni és elkészíteni saját mikrofluidikus chipjeit. Tapasztalt chiptervező csapatunk segíthet Önnek kis tételben és mennyiségben mikrofluidikus chipek tervezésében, prototípus-készítésében és gyártásában az Ön konkrét alkalmazásához. Javasoljuk, hogy a műanyagból készült eszközökkel kezdje a gyors kipróbálást, mivel kevesebb időt és költséget vesz igénybe a gyártás, mint a PDMS-en működő eszközökhöz képest. Mikrofluidikus mintákat készíthetünk olyan műanyagokra, mint a PMMA, COC. A PDMS-en mikrofluidikus mintákat készíthetünk fotolitográfiával, majd lágy litográfiával. Fémmestereket gyártunk, sárgaréz és alumínium marásmintázatával. A készülékgyártás PDMS-en és a minták készítése műanyagokra és fémekre néhány héten belül befejeződhet. Igény szerint műanyagból készült mintákhoz biztosítunk csatlakozókat, például 1 mm-es portmérethez kompatibilis port csatlakozókat, valamint 360 mikronos PEEK kapilláris csövek csatlakoztatására szolgáló szerelvényt. A 0,5 mm-es belső átmérőjű tygon csövet a folyadéknyílások és a fecskendőpumpa között csatlakoztathatja a fém tüskés szerelvénnyel ellátott mini luer. 100 μl űrtartalmú folyadéktároló tartályok. is biztosítható. Ha már van terve, beküldheti Autocad, .dwg vagy .dxf formátumban.

​

​