MEMS​

MEMS, mis tähendab MicroElectroMechanical Systems, on väikesed kiibiga mikromasinad, mis koosnevad komponentidest, mille suurus on 1 kuni 100 mikromeetrit (mikromeeter on üks miljondik meetrist) ja MEMS-seadmete suurus on üldiselt vahemikus 20 mikromeetrit_cc781905-5cde-3194-bb3b_cffs (20 miljondikku meetrit) kuni millimeetrini. Enamik MEMS-seadmeid on mõnesaja mikroni läbimõõduga. Tavaliselt koosnevad need keskseadmest, mis töötleb andmeid, mikroprotsessorist ja mitmest komponendist, mis suhtlevad väljastpoolt, näiteks mikroanduritest. Nii väikese mõõtkava juures ei ole klassikalise füüsika reeglid alati kasulikud. MEMS-i suure pindala ja ruumala suhte tõttu domineerivad pinnaefektid, nagu elektrostaatika ja märgumine, mahuefektid, nagu inerts või termiline mass. Seetõttu nõuab MEMS-i projekteerimine ja arendus nii spetsiifilist kogemust selles valdkonnas kui ka spetsiifilist tarkvara, mis võtab arvesse neid mitteklassikalisi füüsikareegleid.

​

MEMS muutus praktiliseks eriti viimastel aastakümnetel pärast seda, kui neid oli võimalik valmistada modifitseeritud pooljuhtseadmete valmistamise tehnoloogiate abil, mida tavaliselt kasutati elektroonika tootmiseks. Nende hulka kuuluvad vormimine ja plaadistamine, märgsöövitus (KOH, TMAH) ja kuivsöövitamine (RIE ja DRIE), elektrilahendusega töötlemine (EDM), õhukese kile sadestamine ja muud tehnoloogiad, mis on võimelised tootma väga väikeseid seadmeid.

​

Kui teil on uus MEMS-i kontseptsioon, kuid teil pole spetsiaalseid disainitööriistu ja/või õigeid teadmisi, saame teid aidata. Pärast projekteerimist, arendust ja valmistamist saame teie MEMS-i toote jaoks välja töötada kohandatud testimisriistvara ja -tarkvara. Teeme koostööd paljude MEMS-i valmistamisele spetsialiseerunud valukodadega. Nii 150 mm kui ka 200 mm vahvleid töödeldakse ISO/TS 16949 ja ISO 14001 registreeritud ning RoHS-iga ühilduvates keskkondades. Oleme võimelised teostama tipptasemel teadusuuringuid, projekteerimist, arendust, testimist, kvalifitseerimist, prototüüpide loomist ja ka suures mahus kommertstoodangut. Mõned populaarsed MEMS-seadmed, millega meie inseneridel on kogemusi, on järgmised:

​

• Kiirendusmõõturid

• Güroskoobid/ Güroskoop

• Magnetomeetrid

• Mikrofonid

• Resonaatorid

• Optiline MEMS(nagu digitaalsed projektorid, kõik optilised kiudoptilised lülitid)

• MEMS täituridja andurid (nagu liikumisandur, rõhuandur)

• RF-lülitid ja varektorid

• Energiakombainid

• Mikrobolomeetrid

 

Väikesed MEMS-andurid ja ajamid on võimaldanud uusi funktsioone nutitelefonides, tahvelarvutites, autodes, projektorites jne. ja on asjade Interneti (IoT) jaoks kriitilise tähtsusega. Teisest küljest esitab MEMS spetsiifilisi inseneriprobleeme, sealhulgas mittestandardsed tootmisprotsessid, mitme füüsika interaktsioonid, integreerimine IC-dega ja kohandatud hermeetilised pakendamise nõuded. Ilma MEMS-spetsiifilise disainiplatvormita kulub MEMS-i toote turule toomiseks sageli aastaid. Me kasutame MEMS-i kujundamisel ja arendamisel täiustatud tööriistu. Tanner MEMS Design võimaldab meil 3D MEMS-i projekteerimise ja valmistamise tuge ühes ühtses keskkonnas ning hõlbustab MEMS-seadmete integreerimist analoog-/segasignaali töötlemisahelaga samasse IC-sse. See suurendab MEMS-seadmete valmistatavust mehaaniliste, termiliste, akustiliste, elektriliste, elektrostaatiliste, magnetiliste ja vedelike analüüside abil. Teised Coventori tarkvaratööriistad pakuvad meile võimsaid platvorme MEMS-i projekteerimiseks, simuleerimiseks, kontrollimiseks ja protsesside modelleerimiseks. Coventori platvorm tegeleb MEMS-spetsiifiliste inseneriprobleemidega, nagu mitme füüsika interaktsioonid, protsesside variatsioonid, MEMS+IC integratsioon, MEMS+paketi interaktsioon. Meie MEMS-i insenerid suudavad enne tegelikule valmistamisele pühendumist modelleerida ja simuleerida seadme käitumist ja interaktsioone ning tundide või päevade jooksul modelleerida või simuleerida efekte, mille ehitamiseks ja katsetamiseks oleks tavaliselt kulunud mitu kuud. Mõned täiustatud tööriistad, mida meie MEMS-i disainerid kasutavad, on järgmised.

 

Simulatsioonide jaoks:

• Tanner MEMS Design Flow firmalt Mentor

• MEMS+, CoventorWare, SEMulator3D Coventorilt

• IntelliSense

• Comsol MEMS moodul

• ANSYS

 

Maskide joonistamiseks:

• AutoCAD

• Vektoritööd

• Paigutuse redaktor

 

Modelleerimiseks:

• Solidworks

 

Arvutusteks, analüütiliseks ja numbriliseks analüüsiks:

• Matlab

• MathCAD

• Mathematica

 

Järgnev on lühike loetelu MEMS-i projekteerimis- ja arendustöödest, mida me teeme:

• Looge paigutusest MEMS 3D mudel

• Projekteerimisreeglite kontrollimine MEMS-i valmistatavuse osas

• MEMS-seadmete ja IC-de disaini süsteemitaseme simulatsioon

• Täielik kihtide ja disainigeomeetria visualiseerimine

• Automaatne paigutuse genereerimine parameetritega lahtritega

• Teie MEMS-seadmete käitumismudelite loomine

• Täiustatud maskide paigutus ja kinnitusvoog

• DXF-failide eksport   

​

MIKROFLUIDIKUD

Meie mikrofluidikaseadmete projekteerimis- ja arendustegevused on suunatud selliste seadmete ja süsteemide valmistamisele, milles käideldakse väikeses koguses vedelikke. Meil on võimalus kujundada teie jaoks mikrofluidiseadmeid ning pakkuda teie rakenduste jaoks kohandatud prototüüpimist ja mikrotootmist. Mikrofluidiseadmete näideteks on mikrojõuseadmed, kiibil laborisüsteemid, mikrosoojusseadmed, tindiprinteri prindipead ja palju muud. Mikrofluidikas peame tegelema submimeetriliste piirkondadega piiratud vedelike täpse juhtimise ja manipuleerimisega. Vedelikud liigutatakse, segatakse, eraldatakse ja töödeldakse. Mikrofluidsüsteemides liigutatakse ja juhitakse vedelikke kas aktiivselt pisikeste mikropumpade ja mikroventiilide jms abil või passiivselt kasutades ära kapillaarjõude. Lab-on-a-chip süsteemide puhul on tavaliselt laboris läbiviidavad protsessid miniatuursed ühel kiibil, et suurendada tõhusust ja liikuvust ning vähendada proovide ja reaktiivide mahtu.

Mõned mikrofluidiliste seadmete ja süsteemide peamised rakendused on järgmised:

​

- Laborid kiibil

- Narkootikumide sõeluuring

- Glükoosi testid

- keemiline mikroreaktor

- Mikroprotsessorjahutus

- Mikrokütuseelemendid

- Valkude kristalliseerumine

- Kiire ravimite vahetus, üksikute rakkude manipuleerimine

- Üherakulised uuringud

- timmitavad optofluidsete mikroläätsede massiivid

- Mikrohüdraulilised ja mikropneumaatilised süsteemid (vedelikupumbad,

gaasiventiilid, segamissüsteemid jne)

- Biochip varajase hoiatamise süsteemid

- Keemiliste liikide tuvastamine

- Bioanalüütilised rakendused

- DNA ja valgu analüüs kiibil

- pihustusotsakuga seadmed

- Kvartsvoolurakud bakterite tuvastamiseks

- Kahe või mitme tilga genereerimise kiibid

​

AGS-Engineering pakub ka väikeses mahus nõustamist, projekteerimist ja tootearendust gaasiliste ja vedelate süsteemide ja toodete alal. Keerulise voolukäitumise mõistmiseks ja visualiseerimiseks kasutame täiustatud arvutusvedeliku dünaamika (CFD) tööriistu ja laboratoorseid katseid. Meie mikrofluidika insenerid on kasutanud CFD tööriistu ja mikroskoopiat, et iseloomustada mikroskaala vedeliku transpordi nähtusi poorses keskkonnas. Samuti on meil tihe koostöö valukodadega, et uurida, projekteerida. Mikrofluidiliste ja bioMEMS-komponentide arendamine ja tarnimine. Aitame teil kujundada ja valmistada oma mikrofluidkiipe. Meie kogenud kiipide projekteerimismeeskond aitab teid teie konkreetse rakenduse jaoks väikeste partiide ja mahuliste mikrofluidkiipide projekteerimisel, prototüüpimisel ja valmistamisel. Kiirkatsete jaoks on soovitatav alustada plastist seadmetega, kuna selle valmistamine võtab vähem aega ja kulusid võrreldes PDMS-i seadmetega. Saame valmistada mikrofluidseid mustreid plastidele, nagu PMMA, COC. Saame teha fotolitograafiat, millele järgneb pehme litograafia, et luua PDMS-i mikrofluidseid mustreid. Toodame metallimeistreid, freesime messingile ja alumiiniumile mustreid. Seadme valmistamine PDMS-il ning mustrite valmistamine plastidele ja metallidele saab lõpule viia mõne nädala jooksul. Soovi korral saame pakkuda plastikust valmistatud mustrite jaoks ühendusi, näiteks 1 mm pordiga ühilduvaid pordiühendusi koos liitmikuga 360 mikroni PEEK kapillaartorude ühendamiseks. Tarnitakse metalltihvtiga mini-luerit, mis ühendab 0,5 mm siseläbimõõduga tügontoru vedelikuportide ja süstlapumba vahel. Vedeliku säilitusmahutid mahuga 100 μl. saab ka pakkuda. Kui teil on kujundus juba olemas, võite esitada vormingus Autocad, .dwg või .dxf.

​

​